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PECVD-601/801/1201 化学气相沉积（PECVD）
- 型号
- PECVD-601/801/1201
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详细信息
应用方向：科研与教学
产品优势： 高性能薄膜制备
产品配置：
★样片数量及尺寸：1片Ф6英寸
★沉积材料：包括并不限于硅基（Si）薄膜、碳基（C）薄膜、硅锗合金（SiGe）、钨硅合金（WSi2）、W、SiC。
★沉积腔体：高真空系统
★沉积不均匀性：±3%-±6%
★沉积速率：20-600nm/min（视具体材料与工艺）
★工作台：可升降，高度可调
★加热：常规加热，可选高温加热
★电源配置：射频；直流偏压
★气路数量与种类：标配4路气路 或 用户选配
★光学性能监测：可选配椭偏仪在线监测系统
★渐变折射率薄膜制备：可选配快速流量变化与控制系统
★操作模式：全自动+半自动控制
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