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EFC270 杜邦 刻蚀残留物去除液
- 型号
- EFC270
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北京中科复华科技有限公司是一家致力于为半导体领域和微纳米科学领域提供综合性解决方案，为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供的半导体设备仪器和微纳米科学仪器，拥有一支经验丰富、技术过硬的技术团队。能够出色地完成售前、售中、售后的服务。 未来公司将不断和引进在微纳米科学领域中起重要作用的新仪器和新产品，同时也与全国各所的大学、学院和科研院所建立了良好的合作关系，致力于把具有市场前景的科研成果推向市场。愿与中、外同仁广泛合作， 为中国的教育与科研事业在广范围、高层次上提供服务。
详细信息
EFC265 接触清洁,金属线清洁，TSV深硅穿孔清洁等
杜邦™plasmasolv®ekc265™蚀刻后残留物去除
杜邦™plasmasolv®ekc265™蚀刻后残留物去除
清洗接触，金属，穿孔和Pad
高度选择性的残留物去除 应用：
应用EKC265™蚀刻后残留物器广泛应用在半导体行业，以满足关键的清洁需求
从高深宽比MEMS器件100μm+ 到DRAM 的70nm集成的各个阶段
下面列出了常见的应用程序：
接触清洁
金属线清洁
TSV深硅穿孔清洁
钨埋位线清洗
聚酰亚胺清洗
Pad清洁
MEMS清洗
特征：
所有蚀刻后铝清洗的单一解决方案
除重有机残留物
宽工艺窗口
高产率
穿孔接触电阻降低
铝清洗行业基准
