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MEB-600/800 热阻/电子束蒸发镀膜机设备
- 型号
- MEB-600/800
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北京中科复华科技有限公司是一家致力于为半导体领域和微纳米科学领域提供综合性解决方案，为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供的半导体设备仪器和微纳米科学仪器，拥有一支经验丰富、技术过硬的技术团队。能够出色地完成售前、售中、售后的服务。 未来公司将不断和引进在微纳米科学领域中起重要作用的新仪器和新产品，同时也与全国各所的大学、学院和科研院所建立了良好的合作关系，致力于把具有市场前景的科研成果推向市场。愿与中、外同仁广泛合作， 为中国的教育与科研事业在广范围、高层次上提供服务。
详细信息
应用方向：科研与教学
产品优势：多功能，电子枪+热阻蒸发，膜厚监控
产品配置：
★样片数量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）
★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体：高真空系统。
★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋转，转速可调
★加热：常规加热
★电子枪：E型，带XY偏转扫描
★电子枪坩埚：6穴，17cc
★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制
★清洗功能：可选配离子源清洗
★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤
★检测与控制光学特性功能：可选配光控仪
★操作模式：全自动+半自动控制
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