1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年（公司成立年）

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额

HORIC L200 系列 卧式 LPCVD 系统

1、半导体客户端机台装机量大

Large installation volume of semiconductor client machine

2、 可根据客户需求配置多工艺组合的机台

Multi-process combination of machines according to customer demand

3、高可靠性、稳定性 Higher reliability and stability

4、安全性能高：设备及所使用的元件符合国标和国际标准

High safety performance: the equipment and the components used in line with national and international standards

5、 可提供先进成熟的 MES 系统解决方案

Provide advanced mature MES system solutions

6、优异的工艺技术支持

Excellent technical support

技术参数

1、晶圆尺寸 4、6、8 英寸

2、适用材料  硅、碳化硅、硅基氮化镓

3、适用工艺  氮化硅、氧化硅、多晶硅、掺杂多晶硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃

4、适用领域  科研、化合物半导体