1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年（公司成立年）

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额

Orion Proxima 高密度等离子体化学气相沉积系统

1、填孔能力以及高沉积速率

Excellent gap-fill capacity and high deposition rate

2、温度场和 ICP 电磁场设计保证了低温高致密的膜质表现

Unique thermal field and ICP Electromagnetic field design enhancing performance of the high-density film quality at low temperature

3、优化机台结构，缩小占地面积

Optimized system architecture with minimized foot print

4、友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效

User-friendly interface and security designed to ensure the system stability, safety and efficiency

技术参数

1、晶圆尺寸 12 英寸

2、适用材料 氧化硅

3、适用工艺 浅沟槽隔离、金属间介质层、钝化层

4、适用领域 新兴应用、集成电路