1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年（公司成立年）

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额

NMC 612G 12英寸金属刻蚀机

1、可用于铝、硅，氧化物、钼、氧化铟锡等多种材料刻蚀

Available for multiple material etching: Al, Si, OX, Mo, ITO, etc.

2、高性能静电卡盘，可用于 Si wafer 及玻璃片稳定吸附

High performance ESC for Si wafer and glass wafer

3、设备提供多种均匀性调节手段

Multiple uniformity tuning features

4、本土化服务及定制化软件配置能力

Localized services and software develop capability for customer′s demand

技术参数

1、晶圆尺寸 12英寸

2、适用材料 铝、硅、氧化物、钼、氧化铟锡

3、适用工艺 铝线、铝垫、硅、介质刻蚀、铝 / 钼 /ITO 等金属刻蚀

4、适用领域 新兴应用、集成电路