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NE-5700/NE-7800 刻蚀设备
- 型号
- NE-5700/NE-7800
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800
量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800是可以对应单腔及多腔、重视性价比拥有扩展性的刻蚀设备。
产品特性 / Product characteristics
• 除单腔之外，另可搭载有磁场ICP（ISM）或NLD等离子源、去胶腔体、CCP腔体等对应多种刻蚀工艺。
•为实现制程再现性及安定性搭载了星型电及各种调温技能。
•拥有简便的维护构造，缩短了downtime，提供清洗、维护及人员训练服务等综合性的售后服务体制。
•门的半导体技术研究所会提供完备的工艺支持体制。
产品应用 / Product application
- •化合物（LED或LD、高频器件）或Power device（IGBT配線加工、SiC加工）。•金属配线或层间绝缘膜（树脂类）、门电加工工艺•强电介质材料或贵金属刻蚀。•磁性体材料加工。
产品参数 / Product parameters
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
