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SV系列 批次式溅射设备
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经销商深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
批次式溅射设备SV系列
产品特性 / Product characteristics
•SV-4540、6040、9045为回转型设备基板装载量大、适用于小~中规模的生产或少量多品种的生产
产品应用 / Product application
•各种基板上的电膜成膜、绝缘膜、电介质膜成膜
产品参数 / Product parameters