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CS-200 Load-lock式溅射设备
- 型号
- CS-200
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
Load-lock式溅射设备CS-200
Load-lock式溅射设备CS-200，是可对应从研究开发到小规模量产的溅射设备。
产品特性 / Product characteristics
• 活用过往的工艺及数据的know-how，创新的的便利设计
•在Load-lock室内搭载cassette机构（可选）提升生产能力•基板搬送尺寸大为. φ300mm（膜厚均一性保证部分为中心φ200mm部份）•可对应多个cathode多层成膜/共溅射•可由touch panel操作开始自动制程、输入recipe实现省力化运作•可对应Data-logging产品应用 / Product application
- •成电膜，多层电同时成膜•电介质膜成膜，绝缘膜，钝化，保护膜等•电子部件向研究开发，及小规模生产
产品参数 / Product parameters
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
