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SMD系列 溅射镀膜设备(立式)
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
溅射镀膜设备SMD系列(立式)
产品特性 / Product characteristics
•仅基板搬送和侧面镀膜的方式,低particle
•节约空间的设计
•可以轻松的完成单独基板管理,如成膜条件
•根据镀膜物不同选择不同的阴排列
•丰富的经验和数据支持,广泛的镀膜工艺对应
产品应用 / Product application
•Display(TFT、智能手机、平板电视(2K、4K)、OLED)
产品参数 / Product parameters