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Ionfab 300 IBD 离子束沉积
- 型号
- Ionfab 300 IBD
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冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
多模式功能
能够与其它等离子体刻蚀和沉积设备相集成
单晶圆传送模式或集群式晶圆操作
双束流配置
更低的表面薄膜粗糙度
更佳的批次均匀性和工艺重复性
准确终点监测 —— SIMS，发射光谱
产品特点
质量薄膜高 ——超低污染
产量高，紧凑的系统体积设计——运行成本低
高速衬底架（高达1000RPM）设计，并配备了白光光学监视器（WLOM）——更为精确的实时光学薄膜控制
配置灵活 ——适于先进的研究应用
灵活的晶圆操作方式 —— 直开式、单晶圆传送模式或者带机械手臂的盒对盒模式
应用
磁阻式随机存取存储器（MRAM）
介电薄膜
III-V族光电子材料刻蚀
自旋电子学
金属电极和轨道
超导体
激光端面镀膜
高反射（HR）膜
防反射（AR）膜
环形激光陀螺反射镜
X射线光学系统
红外（IR）传感器
II-VI族材料
通信滤波器
