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GENxplor R&D MBE分子束外延系统
中级会员第3年
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述:
GENxplor® R&D MBE系统获得了化合物半导体制造的CSindustry奖,采用Veeco成熟的3英寸生长室设计,并具有工艺灵活性,非常适合UV LED、高效太阳能电池和高温超导体等新兴技术的材料研究。其高效的单框架设计将所有真空硬件与机载电子设备相结合,使其比其他 MBE 系统小 40%,从而节省宝贵的实验室空间。由于手动系统集成在一个框架上,因此减少了安装时间。GENxplor的开放式架构设计还提高了易用性,提供了对积液池的便捷访问,并且与其他MBE系统相比,更容易进行维护。
直径达 3 英寸的衬底上的高质量外延层
电子束温度加热器(>1850°C)
单帧架构提高了易用性,提供了便捷的源访问和增强的可服务性
高效的一体化设计将手动系统与机载电子设备相结合,与其他 MBE 系统相比,可节省 40% 的实验室空间
非常适合对各种材料进行前沿研究,包括砷化镓、氮化物和氧化物
Molly® 软件集成了简单的配方编写、自动生长控制和始终在线的数据记录
可选的 Nova™ 超高温基板加热器,可在 1850° 下提供经过验证的性能
可直接扩展到 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系统