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GEN10 分子束外延MBE
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述:
GEN10™ MBE 系统是成熟平台中经济、灵活的簇状工具系统,允许多达三个可配置的、特定于材料的生长模块。这使得系统利用率高,允许多个研究人员同时使用该系统,并在无人值守的情况下进行生长和校准。这与 Veeco 组件技术相结合,是 MBE 社区选择 GEN10™ MBE 系统的关键因素,无论应用是什么。
自动晶圆转移可实现高系统利用率,允许多名研究人员同时使用该系统,并在无人值守的情况下进行生长和校准
经济地升到其他增长模块的路径,多三个
集群架构中可配置的、特定于材料的生长模块可在一个真空系统中生长不相容的材料
直接通往更大规模生产 MBE 系统的工艺路径
GEN10™ MBE 系统是成熟平台中经济、灵活的簇状工具系统,允许多达三个可配置的、特定于材料的生长模块。这使得系统利用率高,允许多个研究人员同时使用该系统,并在无人值守的情况下进行生长和校准。这与 Veeco 组件技术相结合,是 MBE 社区选择 GEN10™ MBE 系统的关键因素,无论应用是什么。