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GEN200 分子束外延MBE
- 型号
- GEN200
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述
Veeco 的 GEN200® MBE 系统是当市场上具成本效益和高容量的多 4 英寸生产 MBE 系统。该系统在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等设备的生长中提供的吞吐量、长时间的加工周期和出色的晶圆质量。
提供成本低的 4 x 4“ 外延片生长
与同类 MBE 系统相比，模块化架构的占用空间要小得多
允许多两个生长模块，从而提高产量或允许处理不相容的材料
可选的隔板安装优化了洁净室空间
集成了业界具创新性、可靠的系统硬件、源和组件
Veeco 的 GEN200® MBE 系统是当市场上具成本效益和高容量的多 4 英寸生产 MBE 系统。该系统在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等设备的生长中提供的吞吐量、长时间的加工周期和出色的晶圆质量。
