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GENxcel R&D 分子束外延MBE
- 型号
- GENxcel R&D
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述
屡获殊荣的新型 GENxcel™ 系统是在 GENxplor 的基础上进行的扩展，GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以来畅销的 MBE 系统，与 GENxplor 系统的 3“ 功能相比，在单个 4 英寸衬底上具有高质量的外延生长。GENxcel 系统具有易于使用的手动传输系统、12 个源端口和集成到单框架设计中的现代电子设备，可实现大的实验室占地面积效率。
在直径达 4 英寸的衬底上实现高质量外延层
单帧架构提高了易用性，提供了便捷的源访问和增强的可服务性
高效的一体化设计将手动系统与机载电子设备相结合，与其他 MBE 系统相比，可节省 40% 的实验室空间
非常适合对各种材料进行沿研究，包括砷化镓、氮化物和氧化物
Molly® 软件集成了简单的配方编写、自动生长控制和始终在线的数据记录
可选的 Nova™ 超高温基板加热器，可在 1850° 下提供经过验证的性能
可直接扩展到 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系统
