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日本桌面台式无掩膜光刻机 PALET DDB-701

型号
参数
型号:PALET DDB-701 电源:220v 精度:3μm
深圳市田野仪器有限公司

初级会员1年 

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无掩膜光刻系统

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钢化玻璃表面应力仪,FSM-6000LEUV、FSM-6000LE、FSM-6000X、双光源玻璃应力仪、SLP-2000、微晶玻璃应力仪、手持应力仪、便携应力仪
   田野仪器专注于化学强化玻璃表面应力检测仪器的研制和销售,并拥有玻璃应力测试软件著作权,为客户提供玻璃表面应力仪及锂铝硅玻璃软件定制产品。产品分为三大类,全自动、高精度玻璃应力仪应用于计量及科研领域,客户涵盖大学、国家*、航空/航天/中科院/中电等科研机构;工业用玻璃应力仪广泛应用于车载加工领域,客户包括信利半导体、星星光电、天马微、等大尺寸生产厂商,*;手机玻璃检测应力仪成为华为和oppo vivo 小米等终端厂商的*品牌,并在京东方、天马微、蓝思、伯恩、韩国jntc等手机面板供应商大量推广。
  田野仪器具有玻璃表面应力仪独立研发,光学和机械核心元件制造,光学装校,和性能测试的全过程能力。掌握玻璃表面应力仪的核心技术,光学系统的设计、应力仪用光学镜片的制造、标准镜头的生产全部实现自产自供。具备光学光源加工、led-595nm、led-365nm、led-790nm定量加工的技术能力。
  随着公司不断成长,目前具有年产500台玻璃应力仪(fsm-6000le、fsm-6000leuv、SLP-2000、SLP-1000fsm-6000leir)的能力,累计销售超过2000台,结合完善的销售渠道和售后服务,服务科研院所,大学和企业,并销往日本,韩国、美国和欧洲等地。

 

详细信息

桌面无掩模(直接曝光)光刻系统,通过其复杂的软件支持简单的光刻操作。

桌面台式无掩模光刻系统 电动 PALET DDB-701-DL,桌面台式无掩模光刻系统 电动 PALET DDB-701-DL

产品特点

硬件特性

小型化 

内置隔振机构和真空吸油泵

只需要电源和光刻间 

软件特性

用户方便型接口

简易流程

支持对准和暴露条件检查*限制电动载物台模型

型号

DDB-701-MS

DDB-701-DL

载物台(Stage)

手动 XYZθ载物台

电动 XYZθ载物台

 曝光光源

365nm (typ.) LED


Min. 线宽

3μm *1
15μm *2


单次曝光面积

1mm×0.6mm *1
5mm×3mm *2


每张照片曝光时间*3

1~2 sec. *1
15~30 sec. *2


Max. 曝光区域

25mm×25mm(手动连接)

25mm×25mm(自动连接)

可接受的工作尺寸

60mm ×60mm (t3mm)


相容文档格式

DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS


主体尺寸

300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)


主机重量

30kg


*1在使用×10物镜的情况下

*2在使用×2物镜的情况下

*3曝光时间基于AZP系列光刻胶(t0.5mm)

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产品参数

型号 PALET DDB-701
电源 220v
精度 3μm
企业未开通此功能
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