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CY-PECVD50-1200-Q 三温区PECVD气相沉积石墨烯制备

型号
CY-PECVD50-1200-Q
郑州成越科学仪器有限公司

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郑州成越科学仪器有限公司位于郑州市*开发区,是一家专业从事材料制备设备研发、生产和销售为一体的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向。

郑州成越科学仪器有限公司的研发团队凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验,先后研发出了多款*材料制备设备。主要产品有:微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等;

其他的产品还有:等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。

近年来,在社会各界的关心支持下,公司不断发展壮大,与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系;公司还聘请了多位国内外重点高校的教授,博导为公司常年的技术顾问,他们时刻与国内外学术界保持交流,出国访问,并亲临一线指导产品的生产和研发,使我公司的产品不断完善,并紧跟世界研究热点,推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家,并在国内外市场获得业界*好评。

如果您正在被国货的产品质量所困扰,选择我们将改变您对国货的某些观念;如果您正在为自己的实验方案的实施而茫然,选择我们将有专业的技术团队为您量身定做!如果您正在为故障设备的售后无人理会而发愁,选择我们一切的问题将由我们负责到底。郑州成越科学仪器有限公司的诚信、实力和产品质量获得业界的认可。欢迎各界朋友莅临参观、指导和业务洽谈。


详细信息

详情介绍:

三温区PECVD气相沉积石墨烯制备由等离子发生器,三温区管式炉、射频电源、真空系统组成。等离子增强CVD系统为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD), 该PECVD石墨烯薄膜制备设备借助13.56Mhz的射频输出等使含有薄膜组成原子的气体电离,在真空腔体内形成等离子体,利用等离子的强化学活性,改善反应条件,利用等离子体的活性来促进反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

在聚合物、陶瓷等基体材料中加入石墨烯可以显著提高材料的机械性能、热性能等。三温区 PECVD 制备的石墨烯可以更好地控制其在基体材料中的分散性和界面结合强度。例如,在环氧树脂复合材料中,将 PECVD 制备的石墨烯均匀分散后,石墨烯与环氧树脂之间能够形成良好的界面相互作用,从而提高复合材料的拉伸强度、硬度和热稳定性,这种复合材料可用于航空航天、汽车制造等领域,用于制造高性能的结构部件。

三温区PECVD气相沉积石墨烯制备


三温区PECVD应用范围:

等离子增强CVD系统可以用于:石墨烯制备、硫化物制备、纳米材料制备等多种试验场所。可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等多种薄膜,并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。广泛应用于刀具、高精模具、硬质涂层、高duan装饰等领域

 三温区PECVD技术参数: 

产品名称

三温区PECVD气相沉积石墨烯制备

产品型号

CY-PECVD50-1200-Q

三温区管式炉

工作温度:0-1100℃

控温精度:±1℃

控温方式:AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条

炉管材质:高纯石英

炉管尺寸:φ50mm I.D x 1400mm L

加热温区:三温区 200mm+200mm+200mm

密封方式:不锈钢真空法兰

极限真空度:4.4E-3Pa

射频电源

输出功率:0-300W zui大可调±1%

RF频率: 13.56MHz,稳定性±0.005%

噪声:≤55DB

冷却:风冷

质量流量计

三路质量流量计

阀门类型:不锈钢针阀

气路数量:三路

承压范围:-0.15Mpa~0.15Mpa

量程

1~200 SCCM

1~200 SCCM

1~500 SCCM

流量控制范围:±1.5%

气路材料:304不锈钢

管道接口:6.35mm卡套接头

真空系统

配有一套分子泵系统,采用一键式操作

600L/S

水冷系统

CW-3200

电压

220V 50H

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