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CY-EBH500-SS 高真空电子束蒸发镀膜仪
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生产厂家郑州成越科学仪器有限公司位于郑州市*开发区,是一家专业从事材料制备设备研发、生产和销售为一体的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向。
郑州成越科学仪器有限公司的研发团队凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验,先后研发出了多款*材料制备设备。主要产品有:微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等;
其他的产品还有:等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。
近年来,在社会各界的关心支持下,公司不断发展壮大,与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系;公司还聘请了多位国内外重点高校的教授,博导为公司常年的技术顾问,他们时刻与国内外学术界保持交流,出国访问,并亲临一线指导产品的生产和研发,使我公司的产品不断完善,并紧跟世界研究热点,推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家,并在国内外市场获得业界*好评。
如果您正在被国货的产品质量所困扰,选择我们将改变您对国货的某些观念;如果您正在为自己的实验方案的实施而茫然,选择我们将有专业的技术团队为您量身定做!如果您正在为故障设备的售后无人理会而发愁,选择我们一切的问题将由我们负责到底。郑州成越科学仪器有限公司的诚信、实力和产品质量获得业界的认可。欢迎各界朋友莅临参观、指导和业务洽谈。
简单介绍:
高真空电子束蒸发镀膜仪主要用于制备各种导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,微纳器件微加工,电镜样品预处理等,尤其适用蒸镀各种难熔金属材料。不仅可用于玻璃片、硅片等硬质衬底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性衬底上镀膜。
技术参数:
产品名称 | 高真空电子束蒸发镀膜仪 | |
产品型号 | CY-EBH500-SS | |
样品台 | 外形尺寸 | <150mm,样品台可旋转 |
可调温度 | ≦500℃ | |
电子枪 | 新型电子枪,6孔坩埚 | |
加热灯 | 4只卤素加热灯用于除气,1个氖灯用于照明 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | Φ500*H500mm |
观察窗口 | 直径φ100mm | |
腔体材质 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 前开门式 | |
膜厚测量 | 采用SQM160膜厚仪进行监控,涂层厚度不均匀度小于6%。 | |
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵,气体抽速1.1L/S |
次级泵 | 涡轮分子泵,气体抽速600L/S | |
真空测量 | 复合真空计(电离规+电阻规) | |
系统真空 | 5×10-5Pa | |
水冷系统 | 水压<2.5bar 水压监测 | |
加热灯 | 4只卤素加热灯用于除气,1个氖灯用于照明 | |
电极接口 | 带2路金属蒸发电极接口 | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制器 | |
其他参数 | 供电电源 | AC380V,50Hz |
整机尺寸 | 1000mm×800mm×1500mm | |
整机功率 | 20KW | |
整机重量 | 350kg |