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CY-EBH500-SS 多源真空蒸发镀膜仪
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生产厂家郑州成越科学仪器有限公司位于郑州市*开发区,是一家专业从事材料制备设备研发、生产和销售为一体的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向。
郑州成越科学仪器有限公司的研发团队凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验,先后研发出了多款*材料制备设备。主要产品有:微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等;
其他的产品还有:等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。
近年来,在社会各界的关心支持下,公司不断发展壮大,与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系;公司还聘请了多位国内外重点高校的教授,博导为公司常年的技术顾问,他们时刻与国内外学术界保持交流,出国访问,并亲临一线指导产品的生产和研发,使我公司的产品不断完善,并紧跟世界研究热点,推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家,并在国内外市场获得业界*好评。
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简单介绍:
多源真空蒸发镀膜仪适用于对氧敏感的金属薄膜(如Ti、Al、Au等)的蒸镀,也适用于各种氧化物材料的蒸镀。
详情介绍:
本设备采用前开门式真空腔体设计,腔体空间大,可拓展性强,能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台,可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热及升降,所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统,由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成,可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境;真空系统内含有完善的气动阀系统,用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不停机取放样、停机等操作。
本设备的蒸发源共两组,采取钨舟蒸发源,水冷式铜电极,可支持300A的大电流,加热温度可达1800℃,可实现多种难熔金属的蒸镀。本设备采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计,真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作,通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作,在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。
技术参数:
多源真空蒸发镀膜仪 | ||
样品台 | 尺寸 | φ150mm样品 |
高度 | 上下150mm可调 | |
蒸发源 | 数量 | 钨舟x2 |
真空腔体
| 腔体尺寸 | φ500x700mm |
观察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
腔体材料 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 前开门式 | |
膜厚控制 | 晶振式膜厚测量仪,可选多通道膜厚控制仪 | |
真空系统
| 前级泵 | 双极旋片泵 |
抽气接口 | KF16 | |
次级泵 | 涡轮分子泵 | |
抽气接口 | ISO160 | |
真空测量 | 电阻+电离 复合真空规 | |
排气速率 | 机械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
极限真空 | 1.0E-5Pa | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 旋片泵:1.1L/S | |
流量计 | 可选一路质量流量计 500sccm Ar气 | |
控制系统 | PLC自动控制 操作界面:触控屏+操作面板 | |
其他
| 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机尺寸 | 1200mm X 900mm X 1500mm | |
整机重量 | 500kg | |
整机功率 | 5kW |