- ¥900001件起订
起订量：
OLED有机无机蒸发镀膜系统配手套箱
该企业相似产品
郑州成越科学仪器有限公司位于郑州市*开发区，是一家专业从事材料制备设备研发、生产和销售为一体的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向。
郑州成越科学仪器有限公司的研发团队凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验，先后研发出了多款*材料制备设备。主要产品有：微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等；
其他的产品还有：等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。
近年来，在社会各界的关心支持下，公司不断发展壮大，与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系；公司还聘请了多位国内外重点高校的教授，博导为公司常年的技术顾问，他们时刻与国内外学术界保持交流，出国访问，并亲临一线指导产品的生产和研发，使我公司的产品不断完善，并紧跟世界研究热点，推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家，并在国内外市场获得业界*好评。
如果您正在被国货的产品质量所困扰，选择我们将改变您对国货的某些观念；如果您正在为自己的实验方案的实施而茫然，选择我们将有专业的技术团队为您量身定做！如果您正在为故障设备的售后无人理会而发愁，选择我们一切的问题将由我们负责到底。郑州成越科学仪器有限公司的诚信、实力和产品质量获得业界的认可。欢迎各界朋友莅临参观、指导和业务洽谈。
详细信息
简单介绍：
OLED有机无机蒸发镀膜系统配手套箱以金属/有机源蒸发为主体，适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜等详情介绍：
一、设备性能：
OLED有机无机蒸发镀膜系统配手套箱以金属/有机源蒸发为主体，适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜等，也可用作教学及生产线前期工艺试验等，整套设备操作简便，综合功能多，扩展空间大，适合及满足大专院校的教学与科研工作。
二、设备基本结构：
镀膜设备由真空室腔体，金属/有机源系统，样品台系统，真空泵机组，膜厚检测系统，设备机架，电控系统组成，真空室前门可与手套箱对接，采用一体化的设计方案，整套设备结构紧凑、布局简洁，避免实验设备外观凌乱的现象。
适应领域：
适用于制备金属电极、钙钛矿太阳能电池、OLED、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于于小批量及中试生产或大批量生产前的试验工作。
产品特点：
设备兼容有机/无机蒸发,可实现多元分蒸或共蒸获得多层膜、复合膜，性能稳定，尤其温控有机蒸发源不仅角度可调，均匀性好，同时可通过进口膜厚仪联动控制实现速率**控制、掺杂；样品台可升降调整源-基片距离，有效节约贵重材料，降低实验成本；
ATTO10全自动高真空电阻蒸发镀膜系统采用windows操作平台和cotrl2000控制系统，采用IPC+network技术，实现整机主要部件的参数化设置、实施实时监控及故障智能诊断以及膜厚全自动监控，有自动和手动控制两种模式。除取放样品外，其它操作过程全部在PC上使用软件控制；提供真空系统、工艺设置、充放气系统等友好人机操作界面；在工控机上可通过配方设置参数，实现对程序工艺过程和设备参数的设置、储存和打印。
膜厚全自动监控系统，自动设计、工艺读入、参数设置、实时监控等功能，实现整个镀膜过程的全自动控制。可以设置数十层甚至上百层的膜层控制，简单实现单层或多层共蒸。
三、设备技术指标：
产品名称 | 带手套箱六源蒸发镀膜仪 | |
产品型号 | CY-EVH400-Ⅵ-HHHOOOO-SS-STX | |
真空室腔体 | 外形 | 上等 304 不锈钢 D 形真空室腔体 1 套，真空室内部尺寸 D400*480mm，前后开门，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门，前后门各配 DN100 视窗 1 套； |
底部 | 金属源接口 2 套，有机源接口 4 套， 复合分子泵接口 1 套，CF25照明接口 2 套以及膜厚探头接口 3 套； | |
顶部 | 样品台接口 1 套，电动挡板接口 1 套，高真空气动挡板阀接口 1 套 | |
左侧 | 超高真空气动挡板阀接口 1 套 | |
金属/有机源系统 | 金属蒸发源 | 金属蒸发源 2 套:水冷铜电极 2 组，兼容蒸发舟（钨、钼和钽舟）和螺旋丝，配气动挡板，1KW 直流恒流电源 1 台（数字显示），电流调整精度 1A（微调），功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀； |
有机蒸发源 4 套 | 有机蒸发源 4 套:4CC（4ml） 石英舟，温控电源 2 台（温控表显示精度 0.1℃），温度区间：室温-500℃（控温精度±1℃），配气动挡板； | |
隔板 | 蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污 | |
样品台系统 | 基片旋转 | 转速 0～30 转／分连续可调 |
基片升降 | 电动升降，衬底与蒸发源间距 200-300mm 通过触摸屏连续可调； | |
样品台 | 圆形托盘 1 套，一次可放置8片20×20mm 基片 | |
基片挡板 | 电动挡板 | |
真空泵机组 | 1) 600L/s分子泵 1 台； 2) 8L/s双级泵 1 台 3) CF150 气动超高真空插板阀 1 台； 4) CF40 超高真空气动挡板阀 1 台； 5) KF16 高真空气动挡板阀 1 台； 6) KF40 高真空气动挡板阀 1 台； 7) KF40 真空电磁充气阀 1 台； 8) KF40 泵阀连接软管 2 套，KF40 三通 1 套； | |
膜厚检测系统 | 膜厚仪 | 三通道石英晶振膜厚监测仪 1 套； |
膜厚探头 | CF35 水冷膜厚探头 3 套 | |
设备机架 | 1) 40 碳钢方管焊接机架 1 套，表面喷塑； 2) 万向轮 4 件，移动调整； 3) M16 地脚 4 件，锁紧定位 | |
电控系统 | 金属源蒸发源气动挡板 | 2套 |
金属蒸发源电源1kw | 1套 | |
有机源蒸发源气动挡板 | 4套 | |
有机蒸发源电源 | 2套（1带2） | |
烘烤照明电源 | 1 台 | |
样品台电动挡板 | 1套 | |
总控制电源 | 1套 | |
PLC 控制 | 配触摸屏 | |
手套箱 | 腔体尺寸 | L1200* W750* H900mm |
手套 | 3只 | |
大过渡舱 | 内径360mm, 长 600mm | |
小过渡舱 | 内径150mm, 长300mm | |
其他技术参数 | 1) 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能； 2) 供电：～220V 两相供电系统（峰值 3KW）； 3) 供水：小型冷水机，冷却水温度 5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃； 4) 供气：小型无油气泵，提供 0.2-0.3MPa 气压，驱动气动阀门； 5) 极限真空：优于 6×10-5Pa，大气至 6×10-4Pa 时间小于 35 分钟（充干燥氮气），关机 12 小时真空度≤10Pa。 | |
