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近距离有机物蒸发镀膜炉
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郑州成越科学仪器有限公司位于郑州市*开发区，是一家专业从事材料制备设备研发、生产和销售为一体的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向。
郑州成越科学仪器有限公司的研发团队凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验，先后研发出了多款*材料制备设备。主要产品有：微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等；
其他的产品还有：等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。
近年来，在社会各界的关心支持下，公司不断发展壮大，与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系；公司还聘请了多位国内外重点高校的教授，博导为公司常年的技术顾问，他们时刻与国内外学术界保持交流，出国访问，并亲临一线指导产品的生产和研发，使我公司的产品不断完善，并紧跟世界研究热点，推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家，并在国内外市场获得业界*好评。
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详细信息
简单介绍：
近距离有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部)，zui大加热速率20ºC/s。两个30段精密温度控制器内置，精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件，允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。
详情介绍：
近距离有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部)，zui大加热速率20ºC/s。两个30段精密温度控制器内置，精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件，允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。
近距离蒸发镀膜炉产品特点：
1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷装置上。
2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（Φ76mm×0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀。
3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料。
4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr，通过分子泵真空度可达10-5torr。
5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。
6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以准确测量腔内真空度。
近距离蒸发镀膜炉技术规格：
产品名称 | 5英寸近距离蒸发镀膜炉 | |
产品型号 | CY-EVH350JJL-5"-Q | |
样品台 | 外形尺寸 | 5"x5" |
转速 | 1-20RPM | |
可调温度 | ≦950℃ | |
热蒸发源 | 20个红外灯管作为加热元件 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | 350 mm Dia x 300 mm h |
观察窗口 | 100 mm | |
腔体材质 | 高纯石英 | |
开启方式 | 前开门式 | |
膜厚测量 | 晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪） | |
真空系统 | 配有一套分子泵系统 | |
系统真空 | 1×10-5Pa | |
流量计 | 两路浮子流量计 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m | |
工作温度 | 每个加热器的*高温度：RT-950℃。 两个加热器之间的*大温差：<= 300ºC 取决于两个加热器之间的间距：间距 30mm *大。 温差：315ºC @ 仅加热底部 | |
温控系统 | 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序 每个温控系统都带有超温和断偶保护 | |
水 冷 | 循环水冷机（KJ-5300型，16L/min) | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制器 | |
其他参数 | 供电电源 | 208V 60HZ 三相 |
整机尺寸 | 600mm×650mm×1500mm | |
