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CY-EBH500-SS 卷绕式高真空蒸发镀膜仪
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生产厂家郑州成越科学仪器有限公司位于郑州市*开发区,是一家专业从事材料制备设备研发、生产和销售为一体的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向。
郑州成越科学仪器有限公司的研发团队凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验,先后研发出了多款*材料制备设备。主要产品有:微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等;
其他的产品还有:等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。
近年来,在社会各界的关心支持下,公司不断发展壮大,与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系;公司还聘请了多位国内外重点高校的教授,博导为公司常年的技术顾问,他们时刻与国内外学术界保持交流,出国访问,并亲临一线指导产品的生产和研发,使我公司的产品不断完善,并紧跟世界研究热点,推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家,并在国内外市场获得业界*好评。
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简单介绍:
卷绕式高真空蒸发镀膜仪可用于不同种类的材料的薄膜生长,大多数金属和某些有机材料薄膜,如金属、半导体、氧化物等。
详情介绍:
本仪器是一种高真空蒸发镀膜仪,钨丝篮(或钨舟)用作蒸发源,并且样品台和蒸发源之间的距离是可调的。 该仪器可以稳定地蒸发金属和某些有机物。 采用高真空不锈钢腔体,密封性能好,真空性能好。 该腔室配有观察窗,因此可以看到涂层过程。 采用分子泵系统的真空10E-4Pa,可有效提高涂层质量,并能满足大多数蒸发涂层实验所需的真空环境。
可用于不同种类的材料的薄膜生长,大多数金属和某些有机材料薄膜,如金属、半导体、氧化物等。
产品名称 | 卷绕式高真空蒸发镀膜仪 | |
产品型号 | CY-EVH600R-II-HH-SS | |
供电电压 | 单相,AC220V, 50Hz | |
真空腔体 | 内壁处理 | 电解抛光 |
腔体材料 | 304不锈钢 | |
腔体尺寸 | 卧式Φ600mm×500mm | |
观察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
开启方式 | 前开门式 | |
卷绕系统 | 收放卷 | Φ200mmx300mm |
速度 | 60m/min(可调) | |
张紧 | 可调 | |
蒸发源和电源 | 部件数量 | 1套金属蒸发源,带独立挡板 |
电极电压 | 10V | |
送丝速度 | ≤3m/min | |
蒸发电流 | 功率2KW,*大电流为160A,调节精度为1A | |
蒸发器 | 钨舟,1个 | |
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵,抽速1.1L/s |
涡轮分子泵 | 抽速:600L/s; 额定转速:24000rpm; 启动时间:≦4.5min 冷却方式:水冷+空冷 进气接口:ISO150 出气接口:KF40 真空度:5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar) 抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的时间少于40分钟 | |
复合真空计 | 测量范围 105Pa~10-5Pa | |
膜厚监测仪 | 测量精度 | 0.1Å |
测量速度 | 100ms-1s/次 | |
可设置测量范围 | 500000Å(铝) | |
标准传感器晶体 | 6MHz | |
适用晶体尺寸 | Φ14mm (标配10片) | |
空压机 | 作用于电控气动阀 | |
水冷机 | 冷却水温度:≦37℃ 流速:10L/min 功率:0.1KW 冷却功率:50W/℃ 水箱容量:9L | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制器 |