这超高真空超低温四探针SPM是超高真空室内应用设计的UHV极低温多探针扫描探针显微镜，得益于多探针SPM优异性能,这款产品可用于纳米技术。
这超高真空超低温四探针SPM采用四个独立控制的探针扫描显微镜，用于器件评价和超低温等宽温度范围内的微纳尺度表面电导率测量。
超高真空超低温四探针特征

利用SEM实现纳米级定位

每四个探针都有STM/AFM功能

纳米尺度四端电导测量

分子束外延超高真空室

准备好进行光辐照、发射测量、高频测量

孔效应，自旋测量适用于使用超导线圈（可选）

用微纳米尺度测量导电薄膜的四端电阻率

纳米结构和纳米点的电导率测量

有机导电层和半导体电导率的温度依赖性测量

纳米器件的局部电特性分析

不同温度下的STM成像

广泛应用于表面分析

分辨率: XY<2pm, Z<0.2pm

磁场：无

高真空：<10^-8Pa

超低温：3-100K可调温度

STM: 可选配

其它：可以配备安装透镜，用于连接其它光学仪器