大型自动光学检测系统AOI是为14''晶圆光学检测设计的自动光学检测机器,非常适合微电子与半导体检测,自动光学检测晶圆、芯片、引线键合等。
大型自动光学检测系统AOI的900系列是一个模块化AOI检查平台,提供一系列先进的光学和操控性
解决方案包括3D、高分辨率成像和quad彩色照明。摄像头和光学系统可扩展到分辨率低于1微米。此外，一系列可定制物料搬运配置包括…在内刀库处理、带钢处理、托盘处理和晶圆处理。
大型自动光学检测系统AOI非常适合晶片、芯片和引线、键合检查等。提供自动检查和校准功能,适合半导体和微电子领域的测量解决方案。
大型自动光学检测系统AOI平台提供最高的分辨率,2D和3D功能和光学,微电子、包装和三坐标测量功能。
大型自动光学检测系统AOI使用高分辨率3D系统、12MP分辨率摄像头、多层照明和多通道技术。
大型自动光学检测系统AOI特点
满足100级超净间标准 （请联系我们确认）
较高测量能力，较大吞吐量
高分辨率3D检测，微光学物镜,
100-300mm晶圆
引线键合检测

大型自动光学检测系统AOI规格参数