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这款全自动匀胶机是进口自动匀胶仪器,采用功能强大的旋涂机系统专为所有应用的研究和可变工艺而设计。其特点是能够全自动旋涂操作。
全自动匀胶机POLOS SPIN4000A是一款独立的全自动旋涂机系统。钢制外壳保证了无污染的工作区,其组件确保了300x300mm基板的可重复、可编程旋转过程。
全自动匀胶机特征
自动光刻胶分配,最多3个喷嘴(可选)
8.5英寸触摸屏
真空泵
上盖(可选)
全自动匀胶机规格参数
旋涂转速:6000rpm
转速精度:0.1%
旋涂旋转方向:顺时针,逆时针
最大加速度:<=3000rpm/s
最大衬底直径:300mm(圆形)或8'' x 8''(方形)
尺寸:650 (w) x 1200 (h) x 945 (d) mm
重量:350kg
功耗:1KW
真空:-600 mm Hg