COVAP物理气相沉积系统为许多工艺应用提供紧凑、经济、但仍然稳健的PVD解决方案。专为需要安全可靠PVD的实验室而设计，该COVAP物理气相沉积系统可在紧凑的实验室内生产可重复的高质量薄膜。
COVAP物理气相沉积系统隔离沉积源以减少热效应和交叉污染。Covap PVD系统配备了一整套可拆卸腔室屏蔽，以确保腔室易于清洁和维护。当腔室打开时，切断电源和级电源以及气压，确保高水平的安全。它可以集成到手套箱中，也可以在独立配置中选择。
COVAP物理气相沉积系统规格参数
矩形蛤壳式腔室，便于接近
即使在手套箱中，也可以轻松装载材料和基材
Covap物理气相沉积平台为移除屏蔽、清洁和为下一次运行准备系统提供了畅通无阻的通道
准备好手套箱集成
紧凑型600mm x 1000mm系统占地面积
从2或4个源配置中进行选择
基于配方的高级多层控制
顺序或共沉积
最大100mm x 100mm基板的固定支架
仔细隔离QCM传感器，以确保没有来自相邻源材料的干扰
涡轮分子泵提供高真空
2年保修，拥有业界灵敏的支持团队