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系统的传输线脉冲(TLP)测试和分析功能符合ANSI/ESD STM5.5.1-2014测试标准。ES620系统能够向器件注入高质量矩形波脉冲,同时记录流经器件的电流和器件两端电压。测试结果能够提供脉冲式IV曲线,使用户能够表征器件在纳秒级的瞬态响应。系统还具有器件失效自动化检测方法,例如漏电流测试,静态IV曲线,熔断和火花放电。
超快TLP (vf-TLP) 测试和分析功能符合ANSI/ESD SP5.5.2-2007测试标准。vf-TLP测试用于模拟CDM速度的静电放电,捕捉高速(大约100ps上升沿)状态下器件的电流和电压。用户可以通过这种方法测试器件的响应速度和峰值电压。
人体金属模型(HMM) 测试和分析功能符合ANSI/ESD SP5. 6-2009测试方法,该方法可替代IEC61000-4-2中系统级ESD测试方法,用于测试IC。当测试低阻抗器件或者晶圆时,系统的该测试功能可以提供符合IEC61000-4-2标准的理想波形,并且避免许多静电放电枪测试时可能出现的问题,例如可重复性差,放电位置不对,由未屏蔽继电器产生的EMI互扰,需要设置大接地平板和耦合板。
系统有完整的软件控制,可定制上升沿时间和脉冲宽度,与IVI仪器有良好的兼容性,体积小。
TLP传输线脉冲测试系统特点:
配置灵活的TLP IV曲线脉冲测试分析系统
超便携设计
超快测试速度,程序并行处理
目前测试版本有25A,50A和100A模块
高质量TLP脉冲
可扩展的测试模块包括vf-TLP,HMM,HBM和低压浪涌
自动化故障检测方法包括:DC抽查 (电压或电流),静态IV,熔融,击穿,偏置源波动以及客户自定义
软件控制的脉冲注入:单次,连续,IV-曲线表征
上升沿选项:60ps至 50ns(取决于模块)
脉冲宽度选项:1ns至3200ns(取决于模块)
TLP传输线脉冲测试系统应用:
晶圆级ESD测试
PCB/封装级ESD测试
系统/电路ESD测试
安全工作区 (SOA) 测试
充电恢复时间测试
差分ESD脉冲注入
触摸屏ITO微带线熔断测试
触摸屏ITO微带线火花放电测试
TLP注入电流脉冲符合并超过ANSI/ESD STM 5.5.1-2008标准
vf-TLP注入电流脉冲符合并超过ANSI/ESD SP5.5.2-2007标准
对于低阻抗器件,HMM的注入电流脉冲与IEC61000-4-2波形相符
规格:
ES620基于传输线脉冲的IV-曲线测试系统
参量 | ES620-25 | ES620-50 | ES620-100 | 单位 | 备注 |
开路输出电压 | ±0.5~1250 | ±0.5~2500 | ±0.5~5000 | V | |
50Ω负载时,输出电压 | ±0.25–625 | ±0.5~1250 | ±0.5~2500 | V | |
50Ω负载时,小电压步长低电压–40V | 0.01 | 0.01 | 0.02 | V | 带46dB反射抑制 |
50Ω负载时,小电压步长40V至 高电压 | 0.1 | 0.1 | 0.2 | V | 带6dB反射抑制 |
输出电压误差 | <5% | % | 自校准后 | ||
短路输出电流 | ±0.01~25 | ±0.02~50 | ±0.04~100 | A | |
50Ω负载时,输出电流 | ±0.005~12.5 | ±0.01~25 | ±0.02~50 | A | |
50Ω负载时,峰值功率 | ≥7.813 | ≥31.25 | ≥125 | kW | |
自带TLP上升沿时间 | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.3 | ns | ES620-25可达60ps |
其他上升沿时间选项 | 0.06~50 | ns | 与模型有关,请看表2 | ||
自带TLP脉冲宽度 | 100±1 | ns | 自定义 | ||
其他脉宽选项 | 1~3200 | 5~1000 | 5~1000 | ns | 与模型有关,请看表3 |
测试间隔时间 | 一般为0.2~2 | s | 与示波器,SMU和规定有关 | ||
尺寸 | 347X300X145 | mm | |||
重量 | 5 | 6 | 8 | kg | |
I&V直接测量 | I&V直接测量探头A6213-T1 (CT-2电流探头和1KT型电压探头) | ||||
可配用示波器 | Tektronix,Agilent,LeCroy,Rigol的大部分型号 | 其他型号可根据客户需求进行匹配支持 | |||
可配用SMU | Keithley 24xx/26xx系列SMU | 其他型号可根据客户需求进行匹配支持 |
ES620-HMM1扩展的人体金属模型模块(DUT为短路,100ΩHMM,基于ANSI/ESD SP5.6-2009标准)
参数 | ES620-25 | ES620-50 | ES620-100 | 单位 | 备注 |
HMM峰值电流 | 22.5 | 45 | 90 | A | 每千伏3.75A≤±10% IEC 61000-4-2 (R=330Ω,C=150pF) |
30ns时的HMM 电流 | 12 | 24 | 48 | A | ≤±10% (优于IEC的±30% ) |
60ns时的HMM 电流 | 6 | 12 | 24 | A | ≤±10% (优于IEC的±30% ) |
ES620-HBM1扩展的人体模型模块(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2014 R=1.5kΩ,C=100pF)