详细介绍

ES622系列TLP脉冲IV曲线系统

（含 HMM、HBM、MM 外部模块）

1.描述

ES622 系列 TLP 脉冲 IV 曲线系统是一种先进的 IV 曲线表征系统，旨在高功率时域中模拟 ESD 事件（TLP/VF-TLP/HMM/HBM/MM 脉冲）及监控设备（半导体、分立器件、电路模块等）。ES622相比之前的ES620，规格更高，功能更多，扩展能力更强，软件体验更佳。

传输线脉冲(TLP)测试功能旨在满足最新的 ANSI/ESD STM5.5.1 测试标准，并将高质量矩形脉冲应用于被测器件并记录器件两端的电压和电流。可绘出脉冲 IV 曲线，允许用户在纳秒级时间窗口内表征器件的瞬态响应。设备集成了先进的自动器件故障检测方法，例如：直流抽检（V 或 I）、静态 IV 曲线、熔断、击穿和偏置源波动。

VF-TLP 测试旨在模拟 CDM 速度 ESD 事件，并在高速（例如<100 ps 上升时间）ESD 瞬态下捕获 DUT 两端的电压和通过 DUT 的电流。这允许用户研究器件的响应速度和峰值钳位电压。

人体金属模型(HMM)测试功能是 IEC61000-4-2 系统级 ESD 的替代测试方法。它为低欧姆设备提供了理想标准波形的等效波形，并消除了组件或晶圆级测试的许多 IEC 枪测试问题，例如可重复性、枪尖不精确、阻抗不匹配、来自非屏蔽继电器的 EMI 干扰以及具有大接地平面和耦合平面的特殊装置等。

2.特点

可灵活配置的 TLP 脉冲 IV 曲线系统
超紧凑的设计系统
具有多线程处理能力的超快测试速度
提供 20 A、40A、50 A、100 A、125A、150 A 型号（可定制）
可用软件提供高级系统和附件监控和控制
（开关寿命监视器、E-Cal 模块、示波器衰减调整）
测试功能可通过 VF-TLP、HMM、HBM、MM 选项进行扩展
多种故障自动检测方式
（直流抽检（V 或 I）或 IV 扫描、熔断、击穿和偏置电流变化）
软件控制脉冲：突发、连续、IV 曲线表征
上升时间选项从 40 ps 到 1200 ns（取决于型号，可定制）
脉冲宽度选项从 1 ns 到 2000 ns（取决于型号，可定制）

注意*：EOS 系列支持更长的脉冲应用，脉冲宽度从几百 ns 到几 ms。

3.应用

ESD 性能表征
晶圆/封装级ESD测试
系统/电路模块ESD测试
安全操作区（SOA）测试
充电恢复时间测试
太阳能电池板二极管特性
触摸屏 ITO 微带线熔断和击穿测试

4.规格

ES622系列TLP单元规格表

参数	ES622-20	ES622-50	ES622-100	ES622-125	ES622-150	单位	*可根据要求提供特殊型号，例如 40、100、200+ A
开路输出电压	± 0.5 ~ 1000	± 0.5 ~ 2500	± 0.5 ~ 5000	± 0.5 ~ 6250	± 0.5 ~ 7500	V
开路最小电压步长	0.1	0.1	0.1	0.1	0.1	V
短路输出电流	± 0.01 ~ 20	± 0.01 ~ 50	± 0.01 ~ 100	± 0.01 ~ 125	± 0.01 ~ 150	A
电压精度	精度可在 1 – 10 % 之间调节					%	速度/精度软件可调
最快上升时间* （默认 20-80%）	≤ 50	≤ 200	≤ 300	≤ 300	≤ 300	ps	特殊配置可提供10-90%最快至40 ps 的上升时间
上升时间范围	0.05 ~ 1200	0.2 ~ 1200	0.3 ~ 1200	0.3 ~ 1200	0.3 ~ 1200	ns
上升时间选项	无限的可编程或手动选项						可定制
脉宽（默认 50-50%）	100 ± 1					ns	默认
最小脉宽	0.5	1	5	5	5	ns
最大脉宽	2000	2000	1500	1500	1000	ns
脉宽选项	无限的可编程或手动选项						可定制
测试速度	通常 0.2 ~ 2					s	因硬件设置而异
尺寸	347 W X 300 D X 145 H					mm	可能因定制而改变
重量	8	8	8	10	12	kg
支持的示波器	Tektronix, Agilent, LeCroy, Rigol的主要系列						其他可根据要求支持
支持的SMU	Keithley 24xx/26xx 系列 SMU						其他可根据要求支持

ES62X-HMM2 外置人体金属模型模块
（短路DUT，符合ANSI / ESD SP5.6 的 100 Ω HMM）

参数	ES620-25	ES620-50	ES622-100	ES620-125	ES620-150	单位	备注
IEC等效等级	6	12	24	30	36	kV
HMM 峰值电流	22.5	45	90	112.5	135	A	3.75 A 每 1 kV ≤ ± 10 % IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF)
HMM 电流 @ 30 ns	12	24	48	60	72	A	≤ ± 10 % (优于±30% IEC)
HMM 电流 @ 60 ns	6	12	24	30	36	A	≤ ± 10 % (优于±30% IEC)

ES62X-HBM2 外置人体模型模块
(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 R=1.5 kΩ, C=100 pF)

参数	ES620-25	ES620-50	ES622-100	ES620-125	ES620-150	单位	备注
最大 HBM 测试等级	± 2	± 4	± 8	± 10	± 12	kV
最小HBM 测试等级		± 50				V
最小测试步长		1				V	通过USB，用PCB 控制
电荷泄放电阻		10 K				Ohm
电压输出灵敏度		1/201				V/V	注入50 Ohm时误差小于± 3%
电流传感器灵敏度		1				V/A	注入50 Ohm时误差小于± 3%
测试速度		>= 1				S	根据标准，最大 1P/s
物理尺寸		90 X 90 X 130				mm

5.订购信息

编号	部件型号	描述
TLP IV曲线系统基础配置
1.1	ES622-20	ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，20 A 基础单元
1.2	ES622-25	ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，25 A 基础单元
1.3	ES622-40	ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，40 A 基础单元
1.4	ES622-50	ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，50 A 基础单元
1.5	ES622-100	ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，100 A 基础单元
1.6	ES622-125	ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，125 A 基础单元
1.7	ES622-150	ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统，150 A 基础单元
上升时间选项 (仅作为案例配置展示，可供定制)
2.1	ES62x-PRT4	可编程的4个脉冲上升时间过滤器模块 (默认: 内置1 ns、5 ns、10 ns，可定制)
2.2	ES62x-PRT10	可编程的10个脉冲上升时间过滤器模块 (默认: 内置0.5ns、1 ns、2ns、5 ns、10 ns、20ns，可定制)
2.3	ES62x-ERTF	手动外部上升时间过滤器
脉宽选项(仅作为案例配置展示，可供定制)
3.1	ES620-PPL4	可编程的4个内置脉宽模块
3.2	ES620-PPL10	可编程的10个内置脉宽模块
3.3	ES620-MPLEx	手动脉宽外部变动选项
外置脉冲模块选项
4.1	ES62X-HBM2	人体模型 (HBM) ESD脉冲模块及测试设置选项 (ANSI/ESDA/JEDEC JS-001脉冲测试及IV测量)
4.2	ES62X-HMM2	人体金属模型(HMM) ESD脉冲模块及测试设置选项 (IEC61000-4-2 脉冲测试及IV测量)
4.3	ES62X-MM2	机器模型(MM) ESD脉冲模块及测试设置选项 (ANSI/ESDA SP5.2 脉冲测试及IV测量)
漏电或直流IV测量选项
5.1	ES62X-SSM	系统开关模块(在脉冲及直流测试间切换)
5.2	ES62X-STP1	SMU 瞬态保护器
直流偏置测量选项
6.1	BT-100V2A6G	TLP测试偏置三通, 10 kHz – 6 GHz, 100V, 2 A DC/10 A 脉冲电流
6.2	BT-100V4A3G	TLP测试偏置三通, 10 kHz – 3 GHz, 100V, 4 A DC/20 A 脉冲电流
6.3	BT-450V2A5G	TLP测试偏置三通, 10 kHz – 5 GHz, 450V, 2 A DC/10 A 脉冲电流
ESD 注入及IV曲线测量选项
7.1	ES62X-PSTT	用于封装级标准TLP测试的TDR-O测试装置
7.2	ES62X-PVFTT	用于封装级VF-TLP测试的TDR-S测试装置
7.3	ES62X-CMPS	简易式手动探针台，配有可灵活移动的真空泵和显微镜
7.4	ES62X-WSTT	用于晶圆级标准TLP测试的TDR-O测试装置，含探针座
7.5	ES62X-WVFTT	用于晶圆级VF-TLP测试的TDR-S测试装置，含探针座
与TLP系统匹配的示波器
8.1	MISC-OSC1	数字示波器( 1GHz, 5Gs, 4通道, 推荐用于标准TLP测试)
8.2	MISC-OSC6	数字示波器( 6GHz, 5Gs, 4通道, 推荐用于VF-TLP测试)

许多配置可根据客户需求定制。ES622系列TLP脉冲IV曲线系统（含 HMM、HBM、MM 外部模块）

产品简介