ES622系列TLP脉冲IV曲线系统-湖南格雷柏电子科技有限公司

详细介绍

ES622系列TLP脉冲IV曲线系统（含HMM、HBM、MM外部模块）介绍：

1.描述

ES622系列TLP脉冲IV曲线系统是一种IV曲线表征系统，旨在高功率时域中模拟ESD事件（TLP/VF-TLP/HMM/HBM/MM脉冲）及监控设备（半导体、分立器件、电路模块等）。ES622相比之前的ES620，规格更高，功能更多，扩展能力更强，软件体验更佳。

传输线脉冲(TLP)测试功能旨在满足新的ANSI/ESD STM5.5.1测试标准，并将高质量矩形脉冲应用于被测器件并记录器件两端的电压和电流。可绘出脉冲IV曲线，允许用户在纳秒级时间窗口内表征器件的瞬态响应。设备集成了先进的自动器件故障检测方法，例如：直流抽检（V或I）、静态IV曲线、熔断、击穿和偏置源波动。

VF-TLP测试旨在模拟CDM速度ESD事件，并在高速（例如<100ps上升时间）ESD瞬态下捕获DUT两端的电压和通过 DUT的电流。这允许用户研究器件的响应速度和峰值钳位电压。

人体金属模型(HMM)测试功能是IEC61000-4-2系统级ESD的替代测试方法。它为低欧姆设备提供了理想标准波形的等效波形，并消除了组件或晶圆级测试的许多IEC枪测试问题，例如可重复性、枪尖不精确、阻抗不匹配、来自非屏蔽继电器的EMI干扰以及具有大接地平面和耦合平面的特殊装置等。

2.特点

可灵活配置的TLP脉冲IV曲线系统

超紧凑的设计系统

具有多线程处理能力的超快测试速度

提供20A、40A、50A、100A、125A、150A型号（可定制）

可用软件提供高级系统和附件监控和控制（开关寿命监视器、E-Cal 模块、示波器衰减调整）

测试功能可通过VF-TLP、HMM、HBM、MM选项进行扩展

多种故障自动检测方式（直流抽检（V或I）或IV扫描、熔断、击穿和偏置电流变化）

软件控制脉冲：突发、连续、IV曲线表征

上升时间选项从40ps到1200ns（取决于型号，可定制）

脉冲宽度选项从1ns到2000ns（取决于型号，可定制）

注意：EOS系列支持更长的脉冲应用，脉冲宽度从几百ns到几ms

3.应用

ESD性能表征

晶圆/封装级ESD测试

系统/电路模块ESD测试

安全操作区（SOA）测试

充电恢复时间测试

太阳能电池板二极管特性

触摸屏ITO微带线熔断和击穿测试

相关标准：

TLP/VF-TLP选项符合ANSI/ESD STM 5.5.1标准

HMM选项符合ANSI/ESD SP5.6标准

HBM选项符合ANSI/ESDA/JEDEC JS-001标准

MM选项符合ANSI/ESDA SP5.2标准

4.规格

ES622系列TLP单元规格表

参数	ES622-20	ES622-50	ES622-100	ES622-125	ES622-150	单位	可根据要求提供特殊型号，例如 40、100、200+ A
开路输出电压	±0.5~1000	±0.5~2500	±0.5~5000	±0.5~6250	±0.5~7500	V
开路最小电压步长	0.1	0.1	0.1	0.1	0.1	V
短路输出电流	±0.01~20	± 0.01~50	±0.01~100	±0.01~125	±0.01~150	A
电压精度	精度可在1–10 %之间调节					%	速度/精度软件可调
最快上升时间* （默认20-80%）	≤50	≤200	≤300	≤300	≤300	ps	特殊配置可提供10-90%最快至40 ps 的上升时间
上升时间范围	0.05~1200	0.2~1200	0.3~1200	0.3~1200	0.3~1200	ns
上升时间选项	无限的可编程或手动选项						可定制
脉宽（默认50-50%）	100±1					ns	默认
最小脉宽	0.5	1	5	5	5	ns
最大脉宽	2000	2000	1500	1500	1000	ns
脉宽选项	无限的可编程或手动选项						可定制
测试速度	通常0.2~2					s	因硬件设置而异
尺寸	347WX300DX145H					mm	可能因定制而改变
重量	8	8	8	10	12	kg
支持的示波器	Tektronix，Agilent，LeCroy，Rigol的主要系列						其他可根据要求支持
支持的SMU	Keithley 24xx/26xx系列SMU						其他可根据要求支持

ES62X-HMM2外置人体金属模型模块（短路DUT，符合ANSI/ESD SP5.6的100Ω HMM）

参数	ES620-25	ES620-50	ES622-100	ES620-125	ES620-150	单位	备注
IEC等效等级	6	12	24	30	36	kV
HMM 峰值电流	22.5	45	90	112.5	135	A	3.75A每1kV≤±10% IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF)
HMM 电流 @ 30ns	12	24	48	60	72	A	≤±10% (优于±30%IEC)
HMM 电流 @ 60ns	6	12	24	30	36	A	≤±10% (优于±30%IEC)

ES62X-HBM2外置人体模型模块(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 R=1.5kΩ, C=100pF)

参数	ES620-25	ES620-50	ES622-100	ES620-125	ES620-150	单位	备注
最大 HBM测试等级	±2	±4	±8	±10	±12	kV
最小HBM 测试等级		± 50				V
最小测试步长		1				V	通过USB，用PCB控制
电荷泄放电阻		10K				Ohm
电压输出灵敏度		1/201				V/V	注入50 Ohm时误差小于± 3%
电流传感器灵敏度		1				V/A	注入50 Ohm时误差小于± 3%
测试速度		>=1				S	根据标准，最大1P/s
物理尺寸		90X90X130				mm

5.订购信息

编号	部件型号	描述
TLP IV曲线系统基础配置
1.1	ES622-20	ES622 TLP脉 IV曲线系统，20A基础单元
1.2	ES622-25	ES622 TLP脉冲IV曲线系统，25A基础单元
1.3	ES622-40	ES622 TLP脉冲IV曲线系统，40A基础单元
1.4	ES622-50	ES622 TLP脉冲IV曲线系统，50A基础单元
1.5	ES622-100	ES622 TLP脉冲IV曲线系统，100A基础单元
1.6	ES622-125	ES622 TLP脉冲IV曲线系统，125A基础单元
1.7	ES622-150	ES622 TLP脉冲IV曲线系统，150A基础单元
上升时间选项 (仅作为案例配置展示，可供定制)
2.1	ES62x-PRT4	可编程的4个脉冲上升时间过滤器模块 (默认: 内置1ns、5ns、10ns可定制)
2.2	ES62x-PRT10	可编程的10个脉冲上升时间过滤器模块 (默认: 内置0.5ns、1ns、2ns、5ns、10ns、20ns可定制)
2.3	ES62x-ERTF	手动外部上升时间过滤器
脉宽选项(仅作为案例配置展示，可供定制)
3.1	ES620-PPL4	可编程的4个内置脉宽模块
3.2	ES620-PPL10	可编程的10个内置脉宽模块
3.3	ES620-MPLEx	手动脉宽外部变动选项
外置脉冲模块选项
4.1	ES62X-HBM2	人体模型 (HBM) ESD脉冲模块及测试设置选项 (ANSI/ESDA/JEDEC JS-001脉冲测试及IV测量)
4.2	ES62X-HMM2	人体金属模型(HMM) ESD脉冲模块及测试设置选项 (IEC61000-4-2脉冲测试及IV测量)
4.3	ES62X-MM2	机器模型(MM) ESD脉冲模块及测试设置选项 (ANSI/ESDA SP5.2脉冲测试及IV测量)
漏电或直流IV测量选项
5.1	ES62X-SSM	系统开关模块(在脉冲及直流测试间切换)
5.2	ES62X-STP1	SMU 瞬态保护器
直流偏置测量选项
6.1	BT-100V2A6G	TLP测试偏置三通，10kHz – 6GHz，100V，2A DC/10A脉冲电流
6.2	BT-100V4A3G	TLP测试偏置三通，10kHz – 3GHz，100V，4A DC/20A脉冲电流
6.3	BT-450V2A5G	TLP测试偏置三通，10kHz – 5GHz，450V，2A DC/10A脉冲电流
ESD 注入及IV曲线测量选项
7.1	ES62X-PSTT	用于封装级标准TLP测试的TDR-O测试装置
7.2	ES62X-PVFTT	用于封装级VF-TLP测试的TDR-S测试装置
7.3	ES62X-CMPS	简易式手动探针台，配有可灵活移动的真空泵和显微镜
7.4	ES62X-WSTT	用于晶圆级标准TLP测试的TDR-O测试装置，含探针座
7.5	ES62X-WVFTT	用于晶圆级VF-TLP测试的TDR-S测试装置，含探针座
与TLP系统匹配的示波器
8.1	MISC-OSC1	数字示波器( 1GHz，5Gs，4通道，推荐用于标准TLP测试)
8.2	MISC-OSC6	数字示波器( 6GHz，5Gs，4通道，推荐用于VF-TLP测试)

许多配置可根据客户需求定制。

产品简介

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常用功能直达