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ES612 HBM(HMM,MM)测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形表现。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形,为数据分析提供可靠依据。此外,电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测,因此可进行ESD事件的损伤判定。
低寄生参数,具有高质量脉冲
可定制,可扩展
可搭配探针台进行晶圆级测试
外置可选配的自动故障检测模块
触摸控制面板
可固件升级
可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件
可选配的脉冲IV和DC IV表征功能
用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试
HBM模块符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
HMM模块符合ANSI / ESD SP5.6-2009
MM模块符合ANSI / ESD STM5.2-2012
ES612 控制主机
参数 | ES612-2K | ES612-8K | ES612-12K | ES612-20K | 单位 |
输出电压 | ± 10 ~ 2000 | ± 10 ~ 8000 | ± 10 ~ 12000 | ± 10 ~ 20000 | V |
小输出电压步长 | 1V (500V以内) 10V (2 kV以内) | 1V (500V以内) 10V (8 kV以内) | 1V (500V以内) 10V (12 kV以内) | 1V (500V以内) 10V (20 kV以内) | V, kV |
输出电压精度 | ± 1 % 或 ± 5 V | % | |||
尺寸 | 347 X 300 X 145 | mm | |||
重量 | 5 | 6 | 6 | 7 | kg |
电压、电流测量 | 电压、电流测量无源探头 | ||||
支持的示波器 | Keysight, Tektronix,Lecory主流型号示波器 | ||||
支持的SMU | Keithley 24xx/26xx 系列 |
外置人体模型(HBM )波形发生模块