详细介绍

ES612A ESD测试仪(HBM、HMM、MM)

1.描述

ES612A是一款2管脚ESD测试仪，为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM、HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口，可搭配数字源表等DC测试设备，较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612A可搭配64pin/128pin多管脚自动化测试仪进行应用扩展，也可用作器件质检规范流程的一步。

ES612A ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形性能。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形，用于确定保护电路的导通电平。此外，电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测，因此可进行ESD事件的损伤判定。

2.特点

低寄生参数，具有高质量脉冲
可定制，可扩展
可搭配探针台进行晶圆级测试
外置可选配的自动故障检测模块
大尺寸触摸控制面板，固件可升级
可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件
可选配的脉冲IV和DC IV表征功能

3.应用

用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试
HBM模块符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2017、MIL-STD-883和MIL-STD-750
HMM模块符合ANSI / ESD SP5.6-2019
MM模块符合ANSI / ESD STM5.2-2019

4.规格

ES612A 控制主机

参数	ES612A-2K	ES612A-4K	ES612A-6K	ES612A-8K	ES612A-12K	ES612A-20K	单位
输出电压	± 10 ~ 2000	± 10 ~ 4000	± 10 ~ 6000	± 10 ~ 8000	± 10 ~ 12000	± 10 ~ 20000	V
最小输出电压步长	1V (500V以内) 10V (2 kV以内)	1V (500V以内) 10V (4 kV以内)	1V (500V以内) 10V (6 kV以内)	1V (500V以内) 10V (8 kV以内)	1V (500V以内) 10V (12 kV以内)	1V (500V以内) 10V (20 kV以内)	V, kV
输出电压精度	优于± 1 % ± 5 V						%
尺寸	347 X 300 X 145						mm
重量	5	6	6	6	6	7	kg
电压、电流测量	电压、电流测量无源探头
支持的示波器	Keysight， Tektronix，Lecory主流型号示波器
支持的SMU	Keithley 2900 系列，Keithley 24xx/26xx 系列

外置人体模型（HBM ）波形发生模块

(根据ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017)

参数	HBM-2K	HBM-4K	HBM-6K	HBM -8K	HBM -12K	HBM -20K	单位
输出电压	± 10 ~ 2000	± 10 ~ 4000	± 10 ~ 6000	± 10 ~ 8000	± 10 ~ 12000	± 10 ~ 20000	V
放电RC值	C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1%
短路峰值电流Ips	0.67A ± 10 % 每kV						ns
短负荷上升时间Trs	2 < Trs < 10						ns
短负荷衰减时间Tds	130 < Tds < 170						ns
短负荷振铃Irs	< 15% of Ips
500Ω负载峰值电流Ipr	Ipr/Ips ≥ 63%
500Ω负载上升时间Trr	5 < Trr < 25						ns

外置人体金属模型（HMM ）波形发生模块

(根据ANSI/ESD SP5.6-2019)

参数	HMM-8	HMM-24	HMM-36	单位	备注
HMM第一峰值电流	90	90	135	A	3.75 A每1 kV ≤ ± 10 % IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF)
HMM电流@ 30 ns	48	48	72	A	≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% )
HMM电流@ 60 ns	24	24	36	A	≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% )

外置机器模型（MM ）波形发生模块

(根据ANSI/ESD STM5.2-2019)

参数	MM-2	MM-4	单位	备注
输出电压	±10 ~ 2000	±10 ~ 4000	V
放电RC值	C: 200 pF, R: 0 Ω
短路负载峰值电流Ip1	1.75±10%每100V		A	如果使用插座公差会不同
短路负载Ip2	Ip1的67% ~ 90%		A
短路负载波形周期tpm	66 < tpm < 90		ns
500 Ω负载峰值电流Ipr	0.85 – 1.2		A	@400V符合标准的条件
500 Ω负载I100	0.23 – 0.4		A	@400V符合标准的条件
500 Ω负载I200	测量的 I100的30 -50%		A

5.订购信息

编号	型号	描述
ESD测试仪
1.1	ES612A-2K	ES612 ESD测试仪, 最高2kV, 支持RS232 SCPI
	ES612A-4K	ES612 ESD测试仪, 最高4kV, 支持RS232 SCPI
	ES612A-6K	ES612 ESD测试仪, 最高6kV, 支持RS232 SCPI
	ES612A-8K	ES612 ESD测试仪, 最高8kV, 支持RS232 SCPI
	ES612A-12K	ES612 ESD测试仪, 最高12kV, 支持RS232 SCPI
	ES612A-20K	ES612 ESD测试仪, 最高20kV, 支持RS232 SCPI
1.2	ES612A-HBM-2	人体模型2管脚模型, 2kV
	ES612A-HBM-4	人体模型2管脚模型, 4kV
	ES612A-HBM-6	人体模型2管脚模型, 6kV
	ES612A-HBM-8	人体模型2管脚模型, 8kV
	ES612A-HBM-12	人体模型2管脚模型, 12kV
	ES612A-HBM-20	人体模型2管脚模型, 20kV
1.3	ES612A-HMM-8	人体金属模型2管脚模型, 等同8kV HMM
	ES612A-HMM-24	人体金属模型2管脚模型, 等同24kV HMM
	ES612A-HMM-36	人体金属模型2管脚模型, 等同36kV HMM
1.4	ES612A-MM-2	机器模型2管脚测试仪模型, 2kV
	ES612A-MM-4	机器模型2管脚测试仪模型, 4kV
附件
2.1	CT-002-T	电流探头1kHz 至 2 GHz (优于Tektronix CT1 & CT2)
2.2	ES62X-CMPS	简易手动探针台
2.3	XYZM	XYZ探针座, XYZ可移动500 mils, 0.01mm每个步进
2.4	XYZM-HBM	HBM探针臂
2.5	XYZM-HMM	HMM探针臂(47.5R)
2.6	HBM-TC0.3	0.3 mm用于IC探针封装的变桨测试夹
2.7	HBM-TC2.5	2.54 mm用于PCB探针的变桨测试夹(默认配置包含1组)
2.8	XYZM-PP048	0.48 mm用于封装级测试的弹簧针 (一包20个)
2.9	XYZM-TN1	钨钢针 – 5 mils尖头, 用于晶圆级测试 (一包10个)
第三方设备
3.1	KSMU2400	SMU, 200V, 1A, 20W, 单通道(用于设备直流自动失效检测))
3.2	OSC-1G	1 GHz BW, 5Gs/S, 4通道示波器
ES612A ESD测试仪(HBM、HMM、MM) 自动化解决方案
4.1	HBM-RE64X2	64X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块
4.2	HBM-RE128X2	128X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块
4.4	ES62X-PC-SW1	预装自动测试软件的台式电脑，用于2管脚、脉冲和SMU
4.5	ES62X-PC-SW2	预装自动测试软件的台式电脑，用于2管脚、脉冲、示波器和SMU
4.6	ES62X-PC-SW3	预装自动测试软件的台式电脑，用于RE 多管脚、脉冲、示波器和 SMU
4.7	ES650-150	全自动2管脚低寄生机械自动化方案 (不限制管脚, 不需要PCB, PC & 包含全自动软件)

产品简介