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ES612A ESD测试仪(HBM、HMM、MM)介绍：
1.描述
ES612A是一款2管脚ESD测试仪，为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM、HMM和MM的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口，可搭配数字源表等DC测试设备，较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612A可搭配64pin/128pin多管脚自动化测试仪进行应用扩展，也可用作器件质检规范流程的一步。
ES612A ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形性能。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形，用于确定保护电路的导通电平。此外，电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测，因此可进行ESD事件的损伤判定。
2.特点
低寄生参数，具有高质量脉冲
可定制，可扩展
可搭配探针台进行晶圆级测试
外置可选配的自动故障检测模块
大尺寸触摸控制面板，固件可升级
可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件
可选配的脉冲IV和DC IV表征功能
3.应用
用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试
HBM模块符合ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017、MIL-STD-883和MIL-STD-750
HMM模块符合ANSI/ESD SP5.6-2019
MM模块符合ANSI/ESD STM5.2-2019
4.规格
ES612A 控制主机
参数 | ES612A-2K | ES612A-4K | ES612A-6K | ES612A-8K | ES612A-12K | ES612A-20K | 单位 |
输出电压 | ±10~2000 | ±10~4000 | ±10~6000 | ±10~8000 | ±10~12000 | ±10~20000 | V |
最小输出电压步长 | 1V (500V以内) 10V (2kV以内) | 1V (500V以内) 10V (4kV以内) | 1V (500V以内) 10V (6kV以内) | 1V (500V以内) 10V (8kV以内) | 1V (500V以内) 10V (12 kV以内) | 1V (500V以内) 10V (20 kV以内) | V, kV |
输出电压精度 | 优于±1%±5V | % | |||||
尺寸 | 347X300X145 | mm | |||||
重量 | 5 | 6 | 6 | 6 | 6 | 7 | kg |
电压、电流测量 | 电压、电流测量无源探头 | ||||||
支持的示波器 | Keysight， Tektronix，Lecory主流型号示波器 | ||||||
支持的SMU | Keithley 2900 系列，Keithley 24xx/26xx系列 | ||||||
外置人体模型（HBM ）波形发生模块(根据ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017)
参数 | HBM-2K | HBM-4K | HBM-6K | HBM -8K | HBM -12K | HBM -20K | 单位 |
输出电压 | ±10~2000 | ±10~4000 | ±10~6000 | ±10~8000 | ±10~12000 | ±10~20000 | V |
放电RC值 | C: 100pF±10%，R: 1.5kΩ±1% | ||||||
短路峰值电流Ips | 0.67A±10%每kV | ns | |||||
短负荷上升时间Trs | 2<Trs<10 | ns | |||||
短负荷衰减时间Tds | 130<Tds<170 | ns | |||||
短负荷振铃Irs | <15%of Ips | ||||||
500Ω负载峰值电流Ipr | Ipr/Ips≥63% | ||||||
500Ω负载上升时间Trr | 5<Trr<25 | ns | |||||
外置人体金属模型（HMM ）波形发生模块(根据ANSI/ESD SP5.6-2019)
参数 | HMM-8 | HMM-24 | HMM-36 | 单位 | 备注 |
HMM第一峰值电流 | 90 | 90 | 135 | A | 3.75A每1kV≤±10% IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF) |
HMM电流@30ns | 48 | 48 | 72 | A | ≤±10% (优于IEC标准的±30% ) |
HMM电流@60ns | 24 | 24 | 36 | A | ≤±10% (优于IEC标准的±30% ) |
外置机器模型（MM ）波形发生模块(根据ANSI/ESD STM5.2-2019)
参数 | MM-2 | MM-4 | 单位 | 备注 |
输出电压 | ±10~2000 | ±10~4000 | V | |
放电RC值 | C: 200pF，R: 0Ω | |||
短路负载峰值电流Ip1 | 1.75±10%每100V | A | 如果使用插座公差会不同 | |
短路负载Ip2 | Ip1的67%~90% | A | ||
短路负载波形周期tpm | 66<tpm<90 | ns | ||
500Ω负载峰值电流Ipr | 0.85–1.2 | A | @400V符合标准的条件 | |
500Ω负载I100 | 0.23–0.4 | A | @400V符合标准的条件 | |
500Ω负载I200 | 测量的I100的30-50% | A | ||
5.订购信息
编号 | 型号 | 描述 |
ESD测试仪 | ||
1.1 | ES612A-2K | ES612 ESD测试仪，最高2kV，支持RS232 SCPI |
ES612A-4K | ES612 ESD测试仪，最高4kV，支持RS232 SCPI | |
ES612A-6K | ES612 ESD测试仪，最高6kV，支持RS232 SCPI | |
ES612A-8K | ES612 ESD测试仪，最高8kV，支持RS232 SCPI | |
ES612A-12K | ES612 ESD测试仪，最高12kV，支持RS232 SCPI | |
ES612A-20K | ES612 ESD测试仪，最高20kV，支持RS232 SCPI | |
1.2 | ES612A-HBM-2 | 人体模型2管脚模型，2kV |
ES612A-HBM-4 | 人体模型2管脚模型，4kV | |
ES612A-HBM-6 | 人体模型2管脚模型，6kV | |
ES612A-HBM-8 | 人体模型2管脚模型，8kV | |
ES612A-HBM-12 | 人体模型2管脚模型，12kV | |
ES612A-HBM-20 | 人体模型2管脚模型，20kV | |
1.3 | ES612A-HMM-8 | 人体金属模型2管脚模型，等同8kV HMM |
ES612A-HMM-24 | 人体金属模型2管脚模型，等同24kV HMM | |
ES612A-HMM-36 | 人体金属模型2管脚模型，等同36kV HMM | |
1.4 | ES612A-MM-2 | 机器模型2管脚测试仪模型，2kV |
ES612A-MM-4 | 机器模型2管脚测试仪模型，4kV | |
附件 | ||
2.1 | CT-002-T | 电流探头1kHz至2GHz (优于Tektronix CT1&CT2) |
2.2 | ES62X-CMPS | 简易手动探针台 |
2.3 | XYZM | XYZ探针座，XYZ可移动500mils，0.01mm每个步进 |
2.4 | XYZM-HBM | HBM探针臂 |
2.5 | XYZM-HMM | HMM探针臂(47.5R) |
2.6 | HBM-TC0.3 | 0.3mm用于IC探针封装的变桨测试夹 |
2.7 | HBM-TC2.5 | 2.54mm用于PCB探针的变桨测试夹(默认配置包含1组) |
2.8 | XYZM-PP048 | 0.48mm用于封装级测试的弹簧针 (一包20个) |
2.9 | XYZM-TN1 | 钨钢针–5mils尖头，用于晶圆级测试 (一包10个) |
第三方设备 | ||
3.1 | KSMU2400 | SMU，200V，1A，20W，单通道(用于设备直流自动失效检测)) |
3.2 | OSC-1G | 1 GHz BW，5Gs/S，4通道示波器 |
ES612A ESD测试仪(HBM、HMM、MM) 自动化解决方案 | ||
4.1 | HBM-RE64X2 | 64X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块 |
4.2 | HBM-RE128X2 | 128X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块 |
4.4 | ES62X-PC-SW1 | 预装自动测试软件的台式电脑，用于2管脚、脉冲和SMU |
4.5 | ES62X-PC-SW2 | 预装自动测试软件的台式电脑，用于2管脚、脉冲、示波器和SMU |
4.6 | ES62X-PC-SW3 | 预装自动测试软件的台式电脑，用于RE 多管脚、脉冲、示波器和 SMU |
4.7 | ES650-150 | 全自动2管脚低寄生机械自动化方案 (不限制管脚，不需要PCB，PC&包含全自动软件) |
