OTSUKA/日本大冢 品牌
生产厂家厂商性质
苏州市所在地
产品信息
特点
·全面·高速·高精度进行薄膜等面内膜厚不均一性检测
·硬件·软件均为创新设计
·作为专业膜厚测定厂商，提供多种支援
·实现高精度测量
·实现高速测量（500万点以上/分）
式样
| 测量位置 | 膜厚（FFT） |
| 位置分解能 | 1mm以下 |
| 测量尺寸 | 大250mm宽×无限长度限制 |
| 波长范围 | 400~920nm |
| 各单元的波长范围 | 约0.6nm |
| 膜厚测量范围 | 2~250μm |
| 测量间隔 | 100msec~ |
| 装置尺寸 | W600×D680×H1250mm |
测量例
250mm宽的薄膜案例
