嵌入式膜厚检测仪

FE-3嵌入式膜厚检测仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2020-06-12 16:14:31
861
属性：
产地类别:进口；价格区间:20万-50万；应用领域:医疗卫生,化工,电子,印刷包装,电气；
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产品属性
产地类别
进口
价格区间
20万-50万
应用领域
医疗卫生,化工,电子,印刷包装,电气
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大塚电子（苏州）有限公司

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产品简介

嵌入式膜厚检测仪可高精度测量具有波长依存性的多层膜！通过光纤灵活构筑测量系统。支持远程测量、多点测量。

详细介绍

嵌入式膜厚检测仪 FE-3

嵌入式膜厚检测仪可高精度测量具有波长依存性的多层膜！

 

产品信息

特　点

•采用分光干涉法

•搭载高精度FFT膜厚解析系统

•使用光学光纤，可灵活构筑测量系统

•可嵌入至各种制造设备。

•实时测量膜厚

•可对应远程操作、多点测量

•采用寿命长、安全性高的白色LED光源

测量项目

·多层膜厚解析

用　途

•光学薄膜（超硬涂层、AR薄膜、ITO等）

•FPD相关（光刻胶、SOI、SiO2等）

设备构成

单点型

•半导体晶圆的面内分布测量

•玻璃基板的面内分布测量

多点型

•实时测量

•流向品质管理

•真空室适用

导线型

•实时测量

•宽度方向品质管理

测量案例

超硬涂层的膜厚解析

 

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