OTSUKA/日本大冢 品牌
生产厂家厂商性质
苏州市所在地
产品信息 特 长 薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析 高性能的低价光学薄膜量测仪 藉由反射率光谱分析膜厚 完整继承FE-3000机种90%的强大功能 无复杂设定,操作简单,短時間內即可上手 线性小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数) 测量项目
产品规格
选配功能 |
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※1 请于本公公司联系联系我们
※2 对比VLSI标准样品(100nm SiO2/Si),范围值同保证书所记载
※3 测量VLSI标准样品(100nm SiO2/Si)同一点位时之重复再现性。(扩充系数2.1)
应用范围
半导体晶圆膜(光阻、SOI、SiO2等)
光学薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)
测量范例
PET基板上的DLC膜