Advanced Energy/优仪 品牌
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KYOSAN 高压直流电源 HPK4R8ZI 4.8KW
面议KYOSAN 高压直流电源 HPK6R3ZI DC Power
面议MKS 直流电源 DCG-200Z OPTIMA 10KW
面议MKS 直流电源 DCG-100A OPTIMA 10KW
面议ADL 直流电源 GSW 200/500 20KW DC Power
面议Sorensen SGA 大功率程控直流电源 15KW
面议Sorensen SGA 大功率程控直流电源 10KW
面议Sorensen SGA 大功率程控直流电源 15KW
面议Sorensen ASD 可编程水冷直流电源 30KW
面议AE 直流电源 ASCENT 60K DC Power Supply
面议ADL 直流电源 HX200/500 20KW DC Power
面议ADL 直流电源 HX250/500 25KW DC Power
面议AE 直流电源 Pinnacle 3000 3KW DC电源专为精度和工艺可重复性要求严苛的低功率应用而设计的坚固、紧凑型直流发电机。利用小于 6 mJ/kW 的输出电弧能量实现优异的薄膜质量。连续运行一致性:优于 0.1% 的可重复性。宽过程范围 — 阻抗为 370 ~ 1000 VDC。
技术参数
Power : 3000W
Voltage Range : Full power 370~1000 VDC
ARC Energy : <6 mJ/KW
AC Input :400 VAC +/- 10%
Communication I/O :Profibus with on/off via analog port
AE 直流电源 Pinnacle 3000 3KW DC电源
优点
1.Pinnacle 系列经过现场验证的*性能和可靠性 ;
2.灵活通用 — 同时适用于工艺和偏压应用;
3.快速的可配置电弧响应 — 电弧损坏更低 ;
4.精密的控制工艺 ;
特点
1.高效的效率和功率因数;
2.小巧紧凑 — 3000 W 系列一套 2U、½ 机架;
3.宽广范围的单抽头设计;
4.仅提供 Profibus 和 RS-232 串行通信 400 VAC 输入;
5.低存储能量 — 每 1kW 输出小于 6 mJ;
6.功率大于 15% 时输出可重复性为 ±0.1%。