AE Pinnacle Plus Series 脉冲直流电源采用易于集成的封装，为反应工艺提供脉冲直流解决方案的各种优势，可提高过程效率、降低成本，同时具有出色的灵活性和自由度。与复杂昂贵的交流电源解决方案相比，AE Pinnacle Plus Series 电源设备结合了标准直流技术和脉冲直流技术，可提供更高的沉积率、更高的可重复性能和出色的薄膜质量。

AE Pinnacle Plus 直流电源 10KW DC Power Supply 可在反向脉冲期间清除电荷，防止产生电弧，通过频率和占空比控制调节工艺，该系列电源设备采用紧凑型风冷设计，可在主/从配置中扩展。

AE Pinnacle Plus 直流电源 10KW DC Power Supply 技术参数

Power

Single Output ：1.5 kW HALO (high accuracy, low output), 5 kW (single- and dual-output models), 10 kW

Dual Output ： 5/5 kW, independently controlled

Voltage

Up to 800 VDC in a single, wide voltage range (no taps)

Frequency

Adjustable from 0 Hz (DC) to 350 kHz

Repeatability

+/- 0.1% of rated power

Accuracy

+/- 1% of setpoint or +/- 0.2% of full rated power (whichever is greater)

Communication Interfaces

Analog, RS-232/485, Profibus

AC Input

208, 400, and 480 VAC models available

优点

1.更高的沉积速率和良品率

2.出色的薄膜均匀性和质量

3.减轻电弧导致的衬底伤害

4.优秀的工艺灵活性和自由度

5.高重复性的表现

特点

1.频率可在5~350KHz范围内调节

2.可变占空比可达45%

3.宽电压范围 - 单输出宽阻抗范围

4.出色的电弧控制

5.可选双输出，用于多真空腔生产