Pinnacle直流电源平台具有优秀的工艺一致性和控制功能，从而大大减少了工艺变化，提高了产量。利用精确、可重复的功率和优势、低输送电弧能量，生产优良的薄膜，实现工艺效率的优化，电源采用主/从配置的可靠、紧凑型风冷设计。

AE 直流磁控电源 Pinnacle 20K DC电源突出的工艺稳定性和控制能力，可有效的减少差异和提高良品率。紧凑的外形集合了多种功能，包括优秀的电弧管理、产生低储存能量、快速电弧响应以及较宽的全功率运行阻抗范围。

技术参数

Power

Single Output ：6，10，12 or 20KW

Dual Output    ：6/6 and 10/10 KW，independently controlled

Voltage

Up to 1000 VDC in a single voltage range (no taps)

Repeatability

+/- 0.1% of rated power

Accuracy

+/- 1% setpoint or +/- 0.2% full-rated power (whichever is greater)

Communication Interfaces

Analog, RS-232/485, Profibus

AC Input

208, 400, 440, and 480 VAC

AE 直流磁控电源 Pinnacle 20K DC电源

优点

1.降低运作和安装成本；

2.实现快速电弧响应；

3.配置电弧响应；

4.优化工艺效率；

5.精密的控制工艺。

特点

1.低储存能量 — 每 1 kW 输出小于 1 mJ；

2.无抽头；

3.输出可重复性为 ±0.1%；

4.目标调节周期 (TCC) — 将新靶标的调节时间缩短；

5.焦耳模式 — 优化能量供应。