自动薄膜沉积簇工具

OCTOS™自动薄膜沉积簇工具

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-09-05 17:52:50
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深圳市矢量科学仪器有限公司

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产品简介

Kurt J. Lesker Company自动薄膜沉积簇工具 OCTOS集群工具是经过验证的研发和中试生产系统,用于在多个工艺室之间进行真空传输。®

详细介绍

Kurt J. Lesker Company OCTOS集群工具是经过验证的研发和中试生产系统,用于在多个工艺室之间进行真空传输。®

典型应用包括磁隧道结和自旋逻辑器件(GMR、TMR、MRAM、STT)、有机发光器件(OLED)、太阳能电池(PV、OPV)。

OCTOS 集群工具具有单个或多个基板盒负载锁定功能,并允许在真空中完成工艺配方步骤,而无需将基材暴露在大气中。OCTOS能够自动按顺序处理基材,一次处理一个基材,或者并行处理基材,以提高产量。提供底物跟踪功能,并标配全过程数据记录。

工艺室围绕中央机器人分配室布置,以适应您的应用。

KJLC 的 eKLipse 软件允许用户友好的配方创建以及可靠、不间断的控制器,无论计算机用户界面的状态如何,都可以完成过程。有关此直观、可靠的软件包的更多信息,请参阅“软件”选项卡

自 1999 年以来,KJLC 一直在制造 OCTOS 集群工具平台。我们的大多数 OCTOS 集群工具已成为其所有者的主力军,并且仍在日常使用,包括已经处理了超过 100 万个基材的工具。

提供的技术:

  • 电子束蒸发

  • 热蒸发

  • 磁控溅射

  • 有机蒸发

  • 原子层沉积

选项:

  • HV 或 UHV 工艺模块

  • 等离子清洗

  • 基板退火

  • 口罩储存和原位口罩更换

  • 手套箱集成

  • 定制工艺模块

  • 转移到真空分析室,如XPS

  • 与第三方工艺室(如 PLD 或 CVD)集成



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