KURT.J.LESKER 品牌
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Kurt J. Lesker Company OCTOS集群工具是经过验证的研发和中试生产系统,用于在多个工艺室之间进行真空传输。®
典型应用包括磁隧道结和自旋逻辑器件(GMR、TMR、MRAM、STT)、有机发光器件(OLED)、太阳能电池(PV、OPV)。
OCTOS 集群工具具有单个或多个基板盒负载锁定功能,并允许在真空中完成工艺配方步骤,而无需将基材暴露在大气中。OCTOS能够自动按顺序处理基材,一次处理一个基材,或者并行处理基材,以提高产量。提供底物跟踪功能,并标配全过程数据记录。
工艺室围绕中央机器人分配室布置,以适应您的应用。
KJLC 的 eKLipse 软件允许用户友好的配方创建以及可靠、不间断的控制器,无论计算机用户界面的状态如何,都可以完成过程。有关此直观、可靠的软件包的更多信息,请参阅“软件”选项卡
自 1999 年以来,KJLC 一直在制造 OCTOS 集群工具平台。我们的大多数 OCTOS 集群工具已成为其所有者的主力军,并且仍在日常使用,包括已经处理了超过 100 万个基材的工具。
电子束蒸发
热蒸发
磁控溅射
有机蒸发
原子层沉积
HV 或 UHV 工艺模块
等离子清洗
基板退火
口罩储存和原位口罩更换
手套箱集成
定制工艺模块
转移到真空分析室,如XPS
与第三方工艺室(如 PLD 或 CVD)集成