详细介绍

Helios 5 Hydra DualBeam

具有多个离子种类、适用于 3D EM 和 TEM 样品制备的等离子聚焦离子束扫描电子显微镜检查

Helios 5 Hydra DualBeam主要特点

应用空间广泛

离子源可提供以下四种快速、可切换离子种类，应用空间最为广泛：Xe、Ar、O、N

高通量和高质量

使用下一代 2.5 μA 等离子 FIB 色谱柱进行高通量、高质量和统计学相关的 3D 表征、交叉切片和微加工。

先进的自动化

使用选配的 AutoTEM 5 软件，以最快速轻松的方式实现自动化多点原位和非原位 TEM 样品制备以及交叉切片

高质量样品制备

由于采用新型 PFIB 色谱柱，可实现 500 V 最终抛光以及在所有操作条件下均可提供出色的性能，可以用氙、氩或氧进行高质量无镓 TEM 和 APT 样品制备。

纳米级实现周期短

借助 SmartAlign 和 FLASH 技术，任何经验水平的用户都可以最短时间获得纳米级信息

完整的样品信息

可通过多达六个集成在色谱柱内和透镜下的集成探头获得清晰、精确且无电荷对比度的最完整的样品信息

电子和离子束诱导沉积和蚀刻

通过选配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 气输送系统，在 DualBeam 系统上实现的电子和离子束诱导沉积和蚀刻功能。

精确的样品导航

借助 150 mm 压电载物台的高稳定性和准确性或 110 mm 载物台的灵活性以及选配的腔室内 Thermo Scientific Nav-Cam 摄像机，可根据具体应用需求进行定制。

无伪影成像

基于集成的样品清洁度管理和专用成像模式，例如 SmartScan 和 DCFI 模式

性能数据

	Helios 5 Hydra CX DualBeam	Helios 5 Hydra UX DualBeam
电子束分辨率	在最佳 WD： 1 kV 时 0.7 nm 500 V (ICD) 时 1.0 nm 在重合点： 15 kV 时 0.6 nm 1 kV 时 1.2 nm
电子束参数空间	电子束电流范围：在所有加速电压下 0.8 pA 至 100 nA 加速电压范围：350 V – 30 kV 着陆能量范围：20* eV – 30 keV 最大水平射野宽度：4 mm WD 时 2.3 mm
离子光学系统	高性能 PFIB 色谱柱，具有的电感耦合等离子 (ICP) 源，支持四种离子种类，并具有快速切换能力离子种类（初级离子束）：Xe、Ar、O、N 切换时间<10 分钟，仅需软件操作离子束电流范围：1.5 pA 至 2.5 μA 加速电压范围：500V – 30 kV 最大水平射野宽度：在等离子束重合点处为 0.9 mm 重合点时的氙离子束分辨率 <使用统计方法在 30 kV 时为 20 nm 使用选择性边缘方法在 30 kV 时<10 nm
腔室	在分析 WD 时的 E 和 I 束重合点 (4 mm SEM) 端口：21 内部宽度：379 mm 集成式等离子清洁器
探头	Elstar 色谱柱镜筒内 SE/BSE 探头（TLD-SE、TLD-BSE） Elstar 色谱柱柱内 SE/BSE 探头 (ICD)* Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD) 查看样品/色谱柱的 IR 摄像机用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能腔室内电子和离子探头 (ICE) 腔室内 Nav-Cam 样品导航摄像机* 可伸缩、低电压、高对比度、定向、固态反向散射电子探头 (DBS)* 集成的等离子束电流测量
载物台和样品	灵活的五轴电动载物台： XY 范围：110 mm Z 范围：65 mm 旋转：360°（无限）倾斜范围：-38° 至 +90° XY 重复性：3 μm 最大样品高度：与共心点间距 85 mm 0° 倾斜时的最大样品重量：5 kg（包括样品架）最大样品尺寸：旋转时 110 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）计算中心旋转和倾斜	高精度五轴电动载物台，配有压电驱动的 XYR 轴 XY 范围：150 mm Z 范围：10 mm 旋转：360°（无限）倾斜范围：-38° 至 +60° XY 重复性：1 μm 最大样品高度：与共心点间距 55 mm 0° 倾斜时的最大样品重量：500 g（包括样品架）最大样品尺寸：旋转时 150 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）计算中心旋转和倾斜

产品简介