Helios  Hydra DualBeam

Helios  Hydra DualBeam具有多个离子种类、适用于 3D EM 和 TEM 样品制备的等离子聚焦离子束扫描电子显微镜检查

Thermo Scientific Helios 5 Hydra DualBeam（等离子聚焦离子束扫描电子显微镜，简称 PFIB-SEM）可以提供四种不同的离子种类作为主离子束，让您可以选择能为样品和用例（如扫描透射电子显微镜 [STEM] 和透射电子显微镜 [TEM] 样品制备和 3D 材料表征）提供最佳结果的离子。

您可以在不到十分钟的时间里轻松地在氩、氮、氧和氙之间切换而不会牺牲性能。 这种的灵活性极大地扩展了 PFIB 的潜在应用领域，并可实现通过研究离子-样品相互作用来优化现有用例。

Helios 5 Hydra DualBeam 将创新的新型多离子种类等离子 FIB (PFIB) 柱与单色 Thermo Scientific Elstar UC+ SEM 色谱柱相结合，提供先进的聚焦离子和电子束性能。直观的软件和的自动化水平和易用性可以观察和分析相关的亚表面体积信息。

主要特点

应用空间广泛

离子源可提供以下四种快速、可切换离子种类，应用空间最为广泛：Xe、Ar、O、N

先进的自动化

使用选配的 AutoTEM 5 软件，以最快速轻松的方式实现自动化多点原位和非原位 TEM 样品制备以及交叉切片

纳米级实现周期短

借助 SmartAlign 和 FLASH 技术，任何经验水平的用户都可以最短时间获得纳米级信息

电子和离子束诱导沉积和蚀刻

通过选配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 气输送系统，在 DualBeam 系统上实现的电子和离子束诱导沉积和蚀刻功能。

无伪影成像

基于集成的样品清洁度管理和专用成像模式，例如 SmartScan 和 DCFI 模式

高通量和高质量

使用下一代 2.5 μA 等离子 FIB 色谱柱进行高通量、高质量和统计学相关的 3D 表征、交叉切片和微加工。

高质量样品制备

由于采用新型 PFIB 色谱柱，可实现 500 V 最终抛光以及在所有操作条件下均可提供出色的性能，可以用氙、氩或氧进行高质量无镓 TEM 和 APT 样品制备。

完整的样品信息

可通过多达六个集成在色谱柱内和透镜下的集成探头获得清晰、精确且无电荷对比度的最完整的样品信息

精确的样品导航

借助 150 mm 压电载物台的高稳定性和准确性或 110 mm 载物台的灵活性以及选配的腔室内 Thermo Scientific Nav-Cam 摄像机，可根据具体应用需求进行定制。