CDG025D真空计-杭州域势科技有限公司

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电容薄膜真空计INFICON (英福康）

电容薄膜真空计INFICON (英福康）

CDG025D电容薄膜真空计属于INFICON薄膜规系列。测量精度可达：0.2%（读数精度）、自带温度补偿功能，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。自带一键归零功能和设定点调整功能。选用防腐蚀陶瓷传感器可应用于腐蚀性真空环境。在腐蚀性环境中也能保持良好的零点稳定性；预计寿命可达到数百万个加压循环，包括突发大气压。传感器屏蔽可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可有效过滤电磁干扰，保持长期的稳定测量。

技术特点：

· 从 100 mTorr 至 1000 Torr 满量程可选

· 电源接通后快速稳定

· 暴露于大气压后快速恢复

· 可选防腐蚀陶瓷传感器

· 优秀的电磁屏蔽技术保持信号的长期温度

· 具有温度补偿功能

· 传感器有防污染保护功能

· 一键调零功能

典型应用：

· 用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备

· 数据存储和显示器制造设备

· 工业真空设备

· 高度精确的压力测量控制

电容薄膜真空计INFICON (英福康）

技术参数：

参数	单位	参数值
Full scale (FS) 满量程可选范围	Torr / mbar	1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度	% of reading	0.2%读数精度
分辨率	percent FS	0.003%
Lowest reading zui低读数		0.01 % FS（满量程的）
suggested Reading 建议参考读数		0.05 % FS （满量程的）
Control pressure 控制压强时建议读数范围		0.5 % FS （满量程的）
输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10V
Supply voltage (dc) 供电电源	V (dc)	+14 ... +30 V
Power consumption 功率		≤1 W
响应时间	ms	30
Temperature温度
Operation (ambient) 操作温度	°C	+5 ... +50 °C
Bakeout(at flange3) 环境温度（在法兰）	°C	≤110 °C
Storage 储藏温度	°C	–40 ... +65 °C
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
Degree of protection 防护等级		IP 30

尺寸图

电容薄膜真空计INFICON (英福康）

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