新型 INFICON Pirani /Piezo 组合真空计 (INFICON英福康PPG550皮拉尼真空计) 基于目前非常先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术。

在MEMS过程中微型化的Pirani/Piezo组合技术，能够构建一个非常小的、从而节省空间的传感器，这使得测量设备的整体高度非常低成为可能。

除了高度低的优势外，基于MEMS技术的皮拉尼还具有在高压范围内比传统皮拉尼测量更深、更准确的优势。与安装在同一法兰上的MEMS压电传感器相结合，皮拉尼真空计成为一个真正的宽范围真空计，其测量范围远远超过通常的1000mbar，也可延伸到大气压层。同时，MEMS压电传感器提供独立于气体类型的压力测量，范围为2 ...1333毫巴。上述技术的另一个优点是增加了对加速力和振动的抵抗力。

最后但并非最不重要的是，新的INFICON PPG550可以用来直接取代所谓的MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™-绝对压电真空压力传感器 "以及MKS925 "Micro Pirani™真空压力传感器"。Inficon提供了相同的连接器/引脚分配，模拟输出和RS232/485兼容性。

INFICON英福康PPG550皮拉尼真空计

优势

l 2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放

l 大气层的高精度和可重复性--用于可靠、快速的大气压力检测

l 多种安装方向--为工具设计提供工程自由度

l 可选择模拟输出信号，便于系统集成

l 数字接口RS232/RS485

l 符合标准。CE, EN, UL, CSA, RoHS

l 能够直接替换MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducers" 以及MKS925 "Micro Pirani™ Vacuum Pressure Transducers" 。

l DualTrans™ MicroPirani™是MKS Instruments, Andover, MA的注册商标。

l 合规性和标准。CE, EN, UL, CSA, RoHS

典型应用

l 在分析设备/质谱仪中使用

l 物理气相沉积

l 前线测量

l 气体回填