ILS 中行程铝直流电机线性平移台产品规格

型号
	ILS50CC	ILS100CC	ILS150CC	ILS200CC	ILS250CC
行程范围	50 mm	100 mm	150 mm	200 mm	250 mm
最大速度 1	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s
最小位移增量	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm
中心负载能力	250 N	250 N	250 N	250 N	250 N
轴向负载 (+Cx)	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N
逆轴向负载能力 (-Cx)	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N
精度，典型值	±0.6 µm	±0.8 µm	±1.5 µm	±1.2 µm	±1.7 µm
精度，保证值	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm	±3.7 µm	±5.0 µm
单向重复精度，典型值	±0.20 µm	±0.25 µm	±0.25 µm	±0.35 µm	±0.35 µm
单向重复精度，保证值	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
双向重复精度，典型值	±0.40 µm	±0.40 µm	±0.45 µm	±0.45 µm	±0.60 µm
双向重复精度，保证值	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm
俯仰，典型值	±15 µrad	±20 µrad	±37 µrad	±37 µrad	±42 µrad
俯仰，保证值	±25 µrad	±50 µrad	±75 µrad	±100 µrad	±125 µrad
俯仰顺应性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏摆，典型值	±12 µrad	±17 µrad	±20 µrad	±25 µrad	±25 µrad
偏摆，保证值	±25 µrad	±37 µrad	±65 µrad	±80 µrad	±95 µrad
偏摆顺应性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滚转顺应性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
原点重复精度	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
电缆长度	3 m	3 m	3 m	3 m	3 m
螺纹类型 2	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	4.2 kg	4.5 kg	4.8 kg	5.1 kg	5.4 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS

注释:

ILS-CCL版本可供选择。

1. 对于 ILS-CCL 版本，最大速度降低到 50 毫米/秒。

2. 公制 M- 版本可供选择。

型号
	ILS50HA	ILS100HA	ILS150HA	ILS200HA	ILS250HA
行程范围	50 mm	100 mm	150 mm	200 mm	250 mm
最大速度	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s
最小位移增量	300 nm	300 nm	300 nm	300 nm	300 nm
中心负载能力	250 N	250 N	250 N	250 N	250 N
轴向负载 (+Cx)	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N
逆轴向负载能力 (-Cx)	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N
精度，典型值	±0.3 µm	±0.6 µm	±1.2 µm	±0.8 µm	±1.5 µm
精度，保证值	±1.25 µm	±1.5 µm	±2.0 µm	±3.0 µm	±3.75 µm
单向重复精度，保证值	±0.20 µm	±0.20 µm	±0.20 µm	±0.20 µm	±0.20 µm
单向重复精度，典型值	±0.08 µm	±0.08 µm	±0.08 µm	±0.08 µm	±0.10 µm
双向重复精度，典型值	±0.10 µm	±0.10 µm	±0.15 µm	±0.15 µm	±0.15 µm
双向重复精度，保证值	±0.35 µm	±0.35 µm	±0.35 µm	±0.35 µm	±0.35 µm
俯仰，典型值	±17 µrad	±25 µrad	±50 µrad	±35 µrad	±45 µrad
俯仰，保证值	±25 µrad	±50 µrad	±75 µrad	±100 µrad	±125 µrad
俯仰顺应性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏摆，典型值	±7 µrad	±17 µrad	±25 µrad	±25 µrad	±30 µrad
偏摆，保证值	±25 µrad	±37 µrad	±65 µrad	±80 µrad	±95 µrad
偏摆顺应性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滚转顺应性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
原点重复精度	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm
电缆长度	3 m	3 m	3 m	3 m	3 m
螺纹类型 1	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	4.2 kg	4.5 kg	4.8 kg	5.1 kg	5.4 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS

注释:

1. 公制 M- 版本可供选择。

ILS 中行程铝直流电机线性平移台特征

高速高重复度直流电机

直流电机的最大特点是速度快，运动平稳，效率高，功率/重量比高。 因此，对于要求高动态速度和严格可重复性的应用，它们比步进电机平台更可取。 ILS-CC和ILS-HA平台与Newport的 XPS 和ESP301 运动控制器。 ILS-CCL级仅与Newport的 SMC100CC 运动控制器兼容，其最大速度为 ILS-CC的一半。

ILS Stage Motor Options

ILS Series stages are available with the following motors:

●Stepper Motor (ILS-BPP) - For less demanding applications, a stepper motor can be a more economical solution than a DC motor.

●High-torque DC motor (ILS-CC) - Best characterized by their high speeds, smooth motion, good efficiency and a high power/weight ratio, DC motors are preferable to stepper motor stages for applications requiring high dynamic speed and tight repeatability.

●Linear Motor (ILS-LM) - The ILS-LM employs a centered, high efficiency 3-phase, synchronous ironless, linear motor. This drive system is noise-free and provides higher speed, acceleration and system responsiveness without the wear associated with motor brushes or drive screws.

FEM - 优化的铝制机身

有限元法（FEM）用于优化ILS系列舞台铝制车体的结构设计，从而在不降低重量的情况下实现很高的刚度并大程度地减少了双金属弯曲。 刚体设计减少了载荷下的挠曲，从而在铝制载物台设计中实现了最高的性能。 还提供了FEM优化的IMS平台，可提供更长的行程范围，更高的负载能力和更大的移动平台。

旋转或线性编码器选项

4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上，这样可防止出现螺杆/电机耦合误差，从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 µm MIM 的集成线性标度。

旋转编码器                                           线性编码器

循环滚珠轴承滑块

借助精确的线性轨迹，循环滚珠轴承滑轨可提供优异的有效载荷和更长的使用寿命。它可以缓解滚珠轴承罩移位的问题，该问题通常出现在线性滚珠轴承或交叉滚子轴承上。

无侧隙滚珠丝杠

ILS 平移台包含有预装的无侧隙滚珠丝杠，可实现具有较短步进时间和稳定时间的平滑且快速的运动。螺杆型材的设计在于减少热效应，从而延长平移台的使用寿命。

其他ILS位移台特性

牢固的顶盖可防止传动系统的损坏，并且可使其免受灰尘和碎屑的影响。ILS 系列平移台还配有实现可重复初始化的位于行程中心的原点、防止超程的限位开关以及用于平稳紧急制动的弹性行程终点阻尼器。

误差显示服务

对于关键的定位应用，Newport 提供微定位校准服务。当我们的 XPS 高级运动控制系统发出指令时，我们将创建、实施和验证电子补偿过程，从而提高所选 ILS-HA 系列平移台的绝对位置精度。此外，还可以使用多轴微定位校准服务。 测试在20.0±0.2℃下进行。我们将提供您的平台校准证书，也可根据要求提供实际数据。

多轴装配

Newport的标准电动平移台和部件可以很容易地组合，以创建数百种可能的多轴系统。根据产品和应用的不同，我们的标准组件提供以下精密对准:

●Orthogonality to 50 µrad

●Axes Coincidence to 20 µm

XY装配

IMS300线性平移台（X轴）和ILS150线性平移台（Y轴）直接安装在一起，以便在两个线性运动轴上实现高精度。

X-Θz 装配

ILS150线性位移台（X轴）和URS100旋转位移台（θz角）直接安装在一个直线运动的轴和一个旋转运动的轴上，以实现高精度和高精度。

XYZ 装配

IMS线性平移台（X轴），一个ILS线性平移台(Y轴）直接安装到IMS，ILS线性平移台安装在一个EQ120直角托架上 (Z-轴)，在三个线性运动轴上提供高精度。

X-Θy 装配

ILS线性位移台和 RV旋转位移台安装在 EQ120 直角支架，用于在一个直线运动的轴和一个旋转运动的轴上提供高精度和高精度。

XZ-Θz 装配

ILS250线性位移台（X轴）， GTS30V垂直位移台（Z轴）和 URS100旋转台（Θz角）直接安装 在两个线性运动轴和一个旋转运动轴上，具有较高的精度和精度。

XY-Θz 装配

IMS300线性平移台（X轴），一个ILS150线性平移台（Y轴）和一个URS100转台 (Θz 角)直接安装在一起，以便在两个线性运动轴和一个旋转运动轴上实现高精度。

免费提供计量报告

Newport 保证根据 ASME B5.57 和 ISO 230-2 标准测量和记录的规格值。典型性能值比可保证值高出两倍。

ILS平移台负载特性

Compatible Controllers

The ILS-CC and ILS-HA versions are compatible with XPS-D, XPS-RLD and legacy XPS-RL motion controllers. To use an XPS controller, the appropriate driver module (sold separately from the controller) shown in the table below must drive the stage.

The ILS-CC and ILS-HA are also plug-and-play compatible with the ESP302 and legacy ESP301 motion controllers.

The ILS-CCL is compatible only with the SMC100CC single-axis DC motor motion controller.