One-XY 中行程集成 XY 线性平移台产品规格

型号
	ONE-XY60	ONE-XY100	ONE-XY200	ONE-XY300
电动轴	XY	XY	XY	XY
行程范围	50 mm	90 mm	190 mm	290 mm
最大速度	200 mm/s	200 mm/s	200 mm/s	200 mm/s
最小位移增量	50 nm	50 nm	50 nm	50 nm
最大加速度	0.3 G	0.3 G	0.2 G	0.2 G
连续运动力	10 N	10 N	20 N	53 N
峰值驱动力	21 N	21 N	42 N	107 N
中心负载能力	100 N	120 N	150 N	350 N
精度，典型值	±0.4 µm	±0.5 µm
精度，保证值 1	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm	±3.0 µm
双向重复精度，典型值	±0.040 µm	±0.040 µm
平面度，典型值	±0.5 µm	±1.0 µm	±2.0 µm	±3.0 µm
直线度，典型值	±0.5 µm	±1.0 µm	±2.0 µm	±3.0 µm
俯仰，典型值	±15 µrad	±20 µrad
俯仰，保证值	±55 µrad	±65 µrad	±75 µrad	±90 µrad
偏摆，典型值	±15 µrad	±25 µrad
偏摆，保证值	±55 µrad	±65 µrad	±75 µrad	±90 µrad
滚转，典型值	±29 µrad	±29 µrad	±36 µrad	±24 µrad
正交性 2	96 µrad	96 µrad	96 µrad	96 µrad
原点重复精度	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm
电缆长度	3 m	3 m	3 m	3 m
宽度	125 mm	184 mm	275 mm	500 mm
重量	2.9 kg	5.8 kg	12 kg	75 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS

注释:

高精度（HA）版本可供选择。在安装表面上方 50 毫米处，位移台中心线上测量的规格。 Newport 提供 NIST 可追溯的测试结果。

1. 对于ONE-XY-HA 版本，保证精度有所不同。

2. 对于ONE-XY-HA 版本，垂直度降低到 5 µrad。

One-XY 中行程集成 XY 线性平移台特征

刚度增强

为实现更好的稳定性，交叉滚子轴承的宽间隔和厚中间板确保可针对悬臂负载提供更高的刚度。

微米级平直度和平整度

由于 ONE-XY 精密的表面处理和交叉滚子轴承，它实现了微米级的平直度和平整度。

无铁心线性电机

高效率，无铁心线性电机具有更高的速度、加速度和系统响应性的优点，而不会磨损电机电刷或驱动螺杆，从而显著减少发热量。此外，无铁心线性电机的非齿槽特性确保了出色的速度稳定性。无铁心电机不仅可以提供这些优点，还能实现高产量和高可靠性。

集成的 X 轴 和 Y 轴

ONE-XY 最显着的特点是其 3 板设计，同时允许在 X 和 Y 方向上移动，且比堆叠平移台更薄。设计中内置有正交性，因此提高了 XY 精度。

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these linear motor driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module and a E5820A Encoder Adapter for each axis.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module and a E5820A Encoder Adapter for each axis