ILS-LM 系列中档行程线性电机动平移台产品规格

型号
	ILS100LM-S	ILS200LM-S	ILS300LM-S
行程范围	100 mm	200 mm	300 mm
最小位移增量	10 nm	10 nm	10 nm
最大速度	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s
连续运动力	20 N	20 N	20 N
峰值驱动力	72 N	72 N	72 N
中心负载能力	250 N	250 N	250 N
精度，典型值	±0.5 µm	±1.0 µm	±1.2 µm
精度，保证值	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm
双向重复精度，典型值	±0.12 µm	±0.12 µm	±0.12 µm
双向重复精度，保证值	±0.30 µm	±0.30 µm	±0.30 µm
俯仰，典型值	±20 µrad	±40 µrad	±40 µrad
俯仰，保证值	±110 µrad	±135 µrad	±150 µrad
俯仰顺应性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏摆，典型值	±15 µrad	±25 µrad	±25 µrad
偏摆，保证值	±100 µrad	±125 µrad	±150 µrad
偏摆顺应性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滚转顺应性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
螺纹类型 1	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	2.9 kg	3.7 kg	4.5 kg

注释:

1. M- 版本使用 M6 螺纹安装孔

ILS-LM 系列中档行程线性电机动平移台特征

高速高性能直线电机

ILS-LM采用居中，高效的三相同步无铁线性电机作为驱动元件。 该驱动系统无噪音，可提供更高的速度，加速度和系统响应速度，而不会因电刷或驱动螺钉而引起磨损。 而且，ILS-LM比同类的螺杆驱动平台短150毫米以上。 这是解决对于需要高吞吐量，高可靠性和静音操作的空间受限应用的最佳方案。

ILS Stage Motor Options

ILS Series stages are available with the following motors:

●Stepper Motor (ILS-BPP) - For less demanding applications, a stepper motor can be a more economical solution than a DC motor.

●High-torque DC motor (ILS-CC) - Best characterized by their high speeds, smooth motion, good efficiency and a high power/weight ratio, DC motors are preferable to stepper motor stages for applications requiring high dynamic speed and tight repeatability.

●Linear Motor (ILS-LM) - The ILS-LM employs a centered, high efficiency 3-phase, synchronous ironless, linear motor. This drive system is noise-free and provides higher speed, acceleration and system responsiveness without the wear associated with motor brushes or drive screws.

FEM - 优化的铝制机身

有限元法（FEM）用于优化ILS-LM工作台铝制车身的结构设计，从而实现较高的刚度并在不影响重量的情况下将双金属弯曲降至很低。 刚体减少了负载下的挠曲，从而在铝制载物台设计中实现了最高的性能。 还提供经FEM优化的 IMS-LM 位移台，行程更长，负载能力更高 和更大的移动平台。

循环滚珠轴承滑块

借助精确的线性轨迹，循环滚珠轴承滑轨可提供优异的有效载荷和更长的使用寿命。它可以缓解滚珠轴承罩移位的问题，该问题通常出现在线性滚珠轴承或交叉滚子轴承上。

纳米分辨率线性编码器

精确的位置反馈由安装在平台上的非常可重复的线性标尺提供。 编码器信号由Newport的 XPS 运动控制器内插，具有纳米分辨率，可提供出色的位置灵敏度，可重复性和稳定性。 以相同的比例合并原始位置，避免使用其他电子设备或机械来提高可靠性和准确性。

硬质塞子

ILS-LM位移台使用电动行程终端和橡胶缓冲器硬限位器，以在行驶结束时尽可能平稳地停止滑架。 保险杠允许的超程为3.5毫米，与Newport XPS 一起使用时 控制器，不允许任何超出行程范围的命令运动。

误差显示服务

对于关键的定位应用，Newport 提供微定位校准服务。当我们的 XPS 高级运动控制系统发出指令时，我们将创建、实施和验证电子补偿过程，从而提高 Newport ILS-LM 平移台的绝对位置精度。此外，还可以使用多轴微定位校准服务。 测试在20.0±0.2℃下进行。 您的平移台将提供校准证书，也可根据要求提供实际数据。

免费提供计量报告

Newport 保证根据 ASME B5.57 和 ISO 230-2 标准测量和记录的规格值。典型性能值比可保证值高出两倍。

偏离中心装载ILS-LM位移台

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these linear motor driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires XPS-DRV02 Driver Module, XPS-DK26 Cable Kit and E5820A  Encoder Adapter.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module, XPS-DK26 Cable Kit and E5820A Encoder Adapter.