超高精度直接驱动垂直线性平移台产品规格

型号
	XMS50V	XMS100V
行程范围	50 mm	100 mm
最大速度	300 mm/s	300 mm/s
中心负载能力	100 N	100 N
最小位移增量	0.05 µm	0.05 µm
精度，保证值	± 0.75 µm	± 0.75 µm
双向重复精度，保证值	± 0.05 µm	± 0.05 µm
限位开关	Optical, fiducial on encoder	Optical, fiducial on encoder
原点	Optical, at center of travel, including mechanical zero signal	Optical, at center of travel, including mechanical zero signal
电缆长度	5 m	5 m
俯仰顺应性	2.5 µrad/Nm	2.5 µrad/Nm
滚转顺应性	2.0 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm
偏摆顺应性	3.5 µrad/Nm	3.5 µrad/Nm
直线度，平面度	± 0.75 µm	± 0.75 µm
重量	3.5 kg	3.5 kg
MTBF	20,000 h	20,000 h

超高精度直接驱动垂直线性平移台特征

超高性能电动台技术

Newport的XM系列直线电机平台具有优秀的动态性能。 XMS100V垂直工作台由安装在高平坦度垂直板上的标准XMS100线性工作台和连接至滑架的低摩擦气缸组成。结果是一个垂直平台，可为聚焦，传感器测试和校准，直接激光光刻，光纤对准，超精密组装等应用提供超高精度和长行程。该视频演示了由XM线性和垂直平台构成的XYZ运动系统。

平衡选项

直接驱动电机、借助于平衡负载、抵消重力的影响、减轻电机的工作并具有线性电机的所有优势。气动平衡选项可针对不同负载进行调整。即使在切断电机电源时，磁平衡选项也可防止托架向下漂移。

磁平衡

防蠕动式交叉滚子轴承

与楔形设计相比，由相配对的抗蠕变交叉滚子轴承组成的直接垂直导轨，可在高灵敏度操作中实现无波纹运动，同时防止罩移位。

高精密线性编码器

高精密玻璃线性编码器可提供精确的位置反馈，支持 50 nm 的 MIM。该低热膨胀标尺的精确对准和安装使温度变化对平移台重复性和精度的影响降至很低。

T 形托架

在 XMS-V 上使用的 T 形托架进行过刚度优化，并且与使用 C 形托架设计的平移台相比，它支持更大的悬臂负载。保持平移台预载荷要求有改进的刚度。

高精密平滑运动

无铁直接驱动技术支持高动态运动，基本上没有反冲、滞后、卷绕或静摩擦；导致持续降低和更多可重复的跳动。此外，由于没有驱动螺丝，可实现高精密定位所需的无波纹运动

扩展垂直平移台的功能

只有 XMS-V 通过更高的精度和改进的动态运动达到垂直平移台性能的新高度。其增强的性能可解决更广泛的具有挑战性的应用。

XMS-V负载图

免费提供计量报告

Newport 保证根据 ASME B5.57 和 ISO 230-2 标准测量和记录的规格值。典型性能值比可保证值高出两倍。

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module and XPS-DK22 Cable Kit.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module, and XPS-DK22 Cable Kit.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.