IDL-V垂直平台产品规格

• 行程范围
  20 mm
• 最小位移增量
  0.1 µm
• 最大速度
  5 mm/s
• 中心负载能力
  500 N
• 精度，保证值
  ±2 µm (over full travel)
• 双向重复精度，保证值
  ±0.6 µm
• 单向重复精度，保证值
  ±0.1 µm
• 驱动机制
  Precision ball screw
• 驱动螺距
  2 mm
• 轴承
  Double row recirculating ball bearings
• 减速轮
  Belt gear 1:4 + Wedge 1:2
• 基座材料
  Anodized Alumnimum
• 反馈
  Screw-mounted rotary encoder, 5,000 cts/rev, index pulse
• 编码器分辨率
  50 nm
• 限位开关
  Optical
• 原点
  Optical, at center of travel, including mechanical zero signal
• 原点重复精度
  ±0.5 µm
• 连接器
  DB25
• 俯仰，保证值
  ±50 µrad
• 滚转，保证值
  ±50 µrad
• 电缆长度
  3 m
• 重量
  32 lbs. (14.5 kg)
• MTBF
  20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
• RoHS
  Compliant

IDL-V垂直平台特征

工业级的构建和性能

IDL-V垂直平台专注于高通量，重载能力和较高的耐用性，旨在满足精密工业激光微加工的严格要求。 有关其他旅行范围或大小，请联系Newport。

匹配IDL线性平移台

IDL280-Z20基于经过客户验证的模块化楔形设计，可提供亚微米MIM，平滑运动和坚固的结构，可与高动态性能XY系统配合使用。 特别是，它与“> IDL280工业级线性电动机平移台匹配，因此易于安装 安全地构建多轴系统，并从任何一侧提供对载荷的无障碍访问。

负荷图

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for the IDL280-Z20 vertical stage are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

The maximum power consumption is 50 W.