Newport/美国 品牌
经销商厂商性质
上海市所在地
型号 | |||||
XMS50-S | XMS100-S | XMS160-S | XML210-S | XML350-S | |
行程范围 | 50 mm | 100 mm | 160 mm | 210 mm | 350 mm |
最大速度 | 300 mm/s | 300 mm/s | 300 mm/s | 300 mm/s | 300 mm/s |
中心负载能力 | 100 N | 100 N | 100 N | 300 N | 300 N |
精度,典型值 | ±0.2 µm | ±0.3 µm | ±0.5 µm | ±0.5 µm | ±0.5 µm |
精度,保证值 | ±0.75 µm | ±0.75 µm | ±0.75 µm | ±1.5 µm | ±1.5 µm |
最小位移增量 2 | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm |
双向重复精度,典型值 | ±0.030 µm | ±0.030 µm | ±0.030 µm | ±0.032 µm | ±0.035 µm |
双向重复精度,保证值 | ±0.040 µm | ±0.040 µm | ±0.040 µm | ±0.040 µm | ±0.040 µm |
连续运动力 3 | 25 N | 25 N | 25 N | 50 N | 50 N |
峰值驱动力 | 100 N | 100 N | 100 N | 240 N | 240 N |
偏摆,典型值 | ±10 µrad | ±10 µrad | ±10 µrad | ±10 µrad | ±10 µrad |
偏摆,保证值 | ±25 µrad | ±25 µrad | ±25 µrad | ±40 µrad | ±40 µrad |
俯仰,典型值 | ±10 µrad | ±12 µrad | ±12 µrad | ±15 µrad | ±20 µrad |
俯仰,保证值 | ±25 µrad | ±25 µrad | ±25 µrad | ±50 µrad | ±50 µrad |
平面度,典型值(保证值) 4 | ±0.37 (±0.75) µm | ±0.37 (±0.75) µm | ±0.37 (±0.75) µm | ±0.75 (±1.50) µm | ±0.75 (±1.50) µm |
直线度典型值(保证值) 5 | ±0.37 (±0.75) µm | ±0.37 (±0.75) µm | ±0.37 (±0.75) µm | ±0.75 (±1.50) µm | ±0.75 (±1.50) µm |
俯仰顺应性 | 6.0 µrad/Nm | 2.5 µrad/Nm | 2.0 µrad/Nm | 2.0 µrad/Nm | 0.7 µrad/Nm |
偏摆顺应性 | 8.0 µrad/Nm | 3.5 µrad/Nm | 2.0 µrad/Nm | 1.0 µrad/Nm | 0.2 µrad/Nm |
滚转顺应性 | 3.5 µrad/Nm | 2.0 µrad/Nm | 1.5 µrad/Nm | 0.5 µrad/Nm | 0.1 µrad/Nm |
原点重复精度 | ±0.025 µm | ±0.025 µm | ±0.025 µm | ±0.025 µm | ±0.025 µm |
重量 | 2.5 kg | 3.5 kg | 4.5 kg | 13 kg | 22 kg |
MTBF | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) |
最大速度取决于驱动器。 联系Newport以获得更多信息。
最小增量运动(MIM) 取决于驱动器类型和环境,有关更多信息,请查阅数据表。
连续运动力与驱动器相关。联系Newport 以了解更多信息。
行程中部80%。要得到弧秒单位,请将 µrad 值除以 4.8。
XM平移台是激光微加工、标记、切割和纳米图案形成等应用的理想平移台。此视频显示两个XM平移台堆叠在由NewportXPS控制器驱动的2轴(XY)系统中,用于与振镜扫描器同步的复杂、平滑、超高精度运动。
XM系列直接驱动平移台为苛刻的应用提供超高精度运动。此视频显示由两个XM平移台和一个xms-v垂直平移台组成的组件,该组件提供3个轴(XYZ)的运动,可用于聚焦、传感器测试/校准、直接激光光刻和精密组装等应用。
超精密设计和 Heidenhain 光栅尺使 XM 线性平移台系列能够在受控环境中通过一致的命令控制 1 nm MIM。
XM-S平移台能够在受控环境中使用XPS-D控制器进行1-nm增量运动。
与螺钉驱动平移台不同,XM采用中心驱动、无铁芯线性电机作为驱动元件。由于线性电机是无摩擦的直接驱动设备,因此没有限制运动性能的侧隙或滞后、卷绕或静摩擦。线性电机驱动器还具有更高的速度、加速度和系统响应性的优点,同时没有电机电刷或驱动螺钉的磨损。超大、无铁芯电机线圈能确保零齿槽,实现超平滑速度控制,与其他平移台设计相比,具有更高的效率。这将导致产生的热量显著减少,发热通常是超精密运动应用的主要限制因素。为了进一步改善热管理及其对平移台性能的影响,XM 平移台还具有一个优点,其磁轨和平移台托架之间采用了成熟的全程去耦机制。
XM平移台在连续扫描或激光加工应用中提供出色的速度稳定性。 显示的是使用干涉仪以1 kHz的速率收集的XMS50的速度。
为了确保精确的轨迹控制,XM平移台具有配套的同类最佳防蠕动式交叉滚子轴承对。这些轴承中没有再循环元件,因此可以为苛刻的扫描和检测系统提供充足的无波纹运动。而且,齿轮保持架会防止轴承罩移位,其他直线轴承产品可能出现此类移位。
线性误差校正后XMS50-S平移台的精度,当级以100毫米/秒的速度运动时,以10 khz的速率动态测量。
在 XM 上使用的 T 形托架为精密 XY 组件提供了最佳解决方案,同时不会影响平移台预载荷。与具有 C 形托架设计的平移台相比,它更加坚固,并能适应非理想的安装条件。
表面平整度是影响运动系统定位精度和可重复定位精度的主要因素。经过研磨的花岗岩板是市面上可以买到的最平坦表面之一。花岗岩具有紧密的平面度公差和较高的硬度,使其成为补充 Newport 超精密线性电机 XM 系列平移台的必然选择。GB 系列花岗岩底座采用 3 点安装,可安装在非平面平台上。边缘手柄可用于处理底座以及将底座定位在工作表面上。
对于苛刻的定位应用,Newport提供微定位校准服务。当我们的XPS高级运动控制系统发出指令时,我们将创建、实施和验证电子补偿过程,从而提高 Newport XM 平移台的绝对位置精度。此外,还可以使用多轴微定位校准服务。 测试在20.0±0.2℃下进行。 您的平移台将提供校准证书,也可根据要求提供实际数据。
高精密线性标尺提供了精确的位置反馈。该低热膨胀标尺精确对准并安装在平移台中心,将温度变化对平移台的可重复定位性和定位精度的影响降至很低。编码器信号由具有亚纳米分辨率和小于 1 nm 噪声的 Newport XPS 运动控制器进行插值,从而实现出色的定位灵敏度和稳定性。绝对原点位置和极限信号集成到编码器标尺上,无需任何其他电子或机械结构,便可提高可靠性和精度。
XM平移台是由应力消除的高强度铝加工而成,能确保长期的强度和稳定性。所有关键的平移台表面都进行多次加工,然后在严格的温度和质量控制下进行精密磨削,以进一步提高整体性能和精度。
所有 XM 平移台电子设备都固定到稳定的底座,因此平移台内部没有移动电缆。这种设计非常紧凑,并具有出色的可靠性和安全性。节省空间的固定读头设计避免了在平移台内部添加移动电缆,并加强了 XM 平移台的稳健性和可靠性,例如将 MTBF 提高到 20,000 小时。
Newport保证按照ASME B5.57和ISO 230-2标准测量和记录的规范值。典型性能值是保证规格的两倍。
Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:
●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module and XPS-DK22 Cable Kit.
●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module, and XPS-DK22 Cable Kit.
See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.