Newport/美国 品牌
经销商厂商性质
上海市所在地
型号 | |||||
MLT25 | MLT50 | MLT100 | MLT200 | MLT250 | |
行程范围 | 25 mm | 50 mm | 100 mm | 200 mm | 250 mm |
最大速度 | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s | 500 mm/s |
最小位移增量 | 5 nm | 5 nm | 5 nm | 5 nm | 5 nm |
最大加速度 | 0.75 g | 0.75 g | 0.75 g | 0.5 g | 0.5 g |
最大持续力 | 3 N | 3 N | 3 N | 3 N | 3 N |
中心负载能力 | 50 N | 70 N | 70 N | 70 N | 70 N |
精度,保证值 | ±0.5 µm | ±0.7 µm | ±1.25 µm | ±2.5 µm | ±3 µm |
双向重复精度,保证值 | ±0.15 µm | ±0.15 µm | ±0.15 µm | ±0.15 µm | ±0.15 µm |
典型平面度 | ±1 µm | ±2 µm | ±3 µm | ±5 µm | ±10 µm |
直线度,保证值 | ±1 µm | ±2 µm | ±3 µm | ±5 µm | ±5 µm |
俯仰,保证值 | ±50 µrad | ±75 µrad | ±75 µrad | ±150 µrad | ±200 µrad |
偏摆,保证值 | ±50 µrad | ±75 µrad | ±75 µrad | ±125 µrad | ±150 µrad |
驱动方式 | Linear Motor | Linear Motor | Linear Motor | Linear Motor | Linear Motor |
螺纹类型 | M4 | M4 | M4 | M4 | M4 |
重量 | 1.5 kg | 1.7 kg | 2.1 kg | 3.1 kg | 3.6 kg |
MTBF | 20,000 h (100% load, 60% duty cycle) | 20,000 h (100% load, 60% duty cycle) | 20,000 h (100% load, 60% duty cycle) | 20,000 h (100% load, 60% duty cycle) | 20,000 h (100% load, 60% duty cycle) |
Compliance |
每个 MLT 平台的底座均采用高强度铝合金制成,采用有限元方法 (FEM) 进行优化,以获得最高的刚度和最佳的热性能。 选择部件,如长寿命和高负载交叉滚子轴承、大力直线电机和高精度直线编码器,同时考虑了性能和可靠性。 内置限位开关可防止超程和碰撞。 进行了大量测试以确保MLT的高可靠性性能。
MLT series stages are equipped with MKS designed ironless motors that include hall effect sensors and thermistor in a very compact size. Compared to iron core motors, the main advantage of ironless motors is better speed stability (no cogging) and shorter settling time, which is critical for fiber alignment applications.
MLT 系列紧凑、薄型和快速平台占用更少的空间,以更高的加速度和速度运行,降低了运行成本。 此外,由于它们的高可靠性设计,它们需要的初始投入低且需要的维护更少。
MLT 可以利用可用的安装孔安装到 XY 和 XYZ 堆栈中。 X 和 Y 阶之间需要磁屏蔽 MLT-XYPLATE 。 也可根据需要提供拖链。 预组装的 XYZ 堆栈可用于短行程范围。 Z 平台具有磁性配重以适应一系列垂直负载,同时保持出色的定位性能。
MLT 兼容支持即插即用 ESP 技术的 XPS 系列标准 MKS 控制器,无需复杂的驱动程序配置即可轻松启动。 (注意XY配置需要手动设置参数。)
Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:
●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.