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日本ULVAC爱发科半导体卧式热处理设备
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面议日本进口ULVAC爱发科油回转立式真空泵
日本进口ULVAC爱发科油回转立式真空泵
MBP 安装套件允许直接安装
机械增压泵 (MBP)，从而无需支架即可安装 MBP。
标准配备恒温器
恒温器检测泵中的异常温升，并通知您油位下降或泵异常。
内置油雾过滤器的大油箱
大油箱（油量：23~30L）减少换油频率。
油箱内置易于更换的筒式油雾过滤器。
油雾过滤器收集的油自动返回泵。
使用油过滤器去除混有油的灰尘。
光学薄膜沉积设备
反射器沉积设备
装饰气相沉积设备
薄膜卷绕气相沉积设备
在线溅射设备
烘烤炉/热处理炉
冻结干燥装置
泄漏测试设备
空间室
| 模型 | VS650B-A | VS650B-W | VS650B-WL ※1 | VS750B-A | VS750B-W | |||
| 设计抽速 | 50赫兹 | 米3 /小时（升/分钟） | 650（10,833） | 600（10,000） | 750（12,500） | |||
| 60赫兹 | 750（12,500） | 不能开车 | ||||||
| 到达 圧力 | GP闭 | 出色地 | ≦8 | |||||
| GP开 | ≦70 | |||||||
| 功耗 （极限压力） | 50赫兹 | 千瓦 | 8 | 11 | ||||
| 60赫兹 | 11 | ー | ||||||
| 发动机 | 模型 | 全封闭外风扇式三相异步电动机 | ||||||
| 容量 | 千瓦 （极） | 22（4） | ||||||
| 电压 | 50赫兹 | V | 200～240 / 380～415 | |||||
| 60赫兹 | 200～240 / 380～460 | |||||||
| 噪音值*2 （极限压力时） | 50赫兹 | 分贝 | 75 | 72 | 80 | |||
| 60赫兹 | 80 | ー | ||||||
| 使用油 | ULVOIL R-72 | |||||||
| 所要油量 | 大号 | 23～27 | 25～30 | 23～27 | 25～30 | |||
| 冷却方式 | 风冷 | 水冷 | 风冷 | 水冷 | ||||
| 冷却水 | 一次压力 | 兆帕G | ー | ≦0.5 | ー | ≦0.5 | ||
| 入口/出口压差 | ー | ≧0.1 | ー | ≧0.1 | ||||
| 冷却水量 | 升/分钟 | ー | ≧3.0 | ー | ≧3.0 | |||
| 冷却水温度 | ℃ | ー | 5～30 | ー | 5～30 | |||
| 冷却水Δｔ | ー | ≦60 | ー | ≦60 | ||||
| 进气法兰 | DN 100 ISO-K | |||||||
| 排气法兰 | DN 100 ISO-K | |||||||
| 质量 | 公斤 | 约820 | ||||||
| 外形尺寸 宽×深×高 | 毫米 | 1490×905 ×705 | 1490×841×705 | 1490×905 ×705 | 1490×841 ×705 | |||
| 海外安全规格 | ー | |||||||
