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纳米压印系统-光刻机

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科睿设备有限公司

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科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化,为广大中国用户提供仪器、设备,周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国,纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域,都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代,我们愿意化为一座桥梁,见证中国科技水平的提升,与中国科技共同飞速成长。
      科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)总部设在中国香港,在中国上海设立了分公司,在国内多个城市设立了办事处或维修站,旨在为客户提供*的产品和服务。2010年,科睿设备有限公司在上海设立备品仓库及维修中心,同时提供在大陆的各项技术服务和后期的维修保障服务,我们拥有专业的应用维修人员,并且都曾到国外厂家进行了专门的培训。上海配备了多种维修部件,能使我们的服务更加快捷和方便。我们承诺24小时电话响应,72小时内赶到现场维修。以利于更好、更快的为中国大陆服务!
      因为信任,所以理解.我们理解用户的困难和需求。我们已经为国内众多科研院所和大学根据用户的要求配制和提供了上百套系统,主要用户包括:中科院物理所,中科院半导体所,中科院大连化学物理研究所,国家纳米中心,上海纳米中心,北京大学,清华大学,中国科技大学,南京大学,复旦大学,上海交通大学,华东理工大学,浙江大学,中山大学,西安交通大学,四川大学,中国工程物理研究院,香港大学,香港城市大学,香港中文大学,香港科技大学等。



详细信息

纳米压印系统-光刻机

引入了一个台式、独立的NanoImprint平台。
这个平台提供了一个带有微型定位夹具的机械平台,用于安装纳米压印室、紫外线固化源和校准显微镜。

它既可以作为纳米压印系统,也可以作为传统的掩模校准器,同时为整个压印过程提供可编程的自动控制。


我们纳米压印系统-光刻机的优势
•低于10纳米分辨率,99%的产量
•支持硬模具和软模具
•可变模具和基板尺寸提供的便利性和灵活性
•自动释放工艺可防止分离过程中的模具/基板损坏,并最大限度地提高每个印记的产量。
•自动释放工艺可防止分离过程中的模具/基板损坏,并最大限度地提高每个印记的产量。
•适用于各种应用的多功能流程:
•光学设备、显示器、数据存储、生物医学
•器件、半导体集成电路、化学合成和先进材料
•带触摸屏用户界面的可编程PLC允许通过定制参数进行过程控制
•专有的紫外固化纳米压印胶对硬度或厚度没有限制,并且与传统的光刻工艺兼容。

纳米压印系统-光刻机

纳米压印技术分为三个步骤。
第一步是模板的加工。一般使用电子束刻蚀等手段,在硅或其他衬底上加工出所需要的结构作为模板。由于电子的衍射极限远小于光子,因此可以达到远高于光刻的分辨率。
第二步是图样的转移。在待加工的材料表面涂上光刻胶,然后将模板压在其表面,采用加压的方式使图案转移到光刻胶上。注意光刻胶不能被全部去除,防止模板与材料直接接触,损坏模板。
第三步是衬底的加工。用紫外光使光刻胶固化,移开模板后,用刻蚀液将上一步未去除的光刻胶刻蚀掉,露出待加工材料表面,然后使用化学刻蚀的方法进行加工,完成后去除全部光刻胶,最终得到高精度加工的材料。


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